サブミクロンフィードバックステージ専用コントローラ
CONTROL_FS_X-11
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CONTROL_FS_X-11
サブミクロンフィードバックステージ(FS-Xシリーズ)を制御する専用コントローラです。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。
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