真空仕様自動回転ステージ

VSGSP-YAW

真空仕様自動回転ステージ
在庫あり
SKU
VSGSP-YAW
真空環境に対応した自動回転ステージです。
φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。
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名前 Rotation Range Load Capacity 出荷 価格 カートに追加
i
真空仕様小型自動ステージ
VSGSP-60YAW
CW、CCW方向∞ 29.4N (3.0kg)
2-6 weeks
¥480,000.00
回転範囲 CW、CCW方向∞
テーブル面サイズ φ60mm
移動機構 ウォーム ウォームホイール
移動ガイド ベアリング方式
ステージ材質 アルミ
表面処理
分解能/(Full) 0.005°/パルス
分解能(Half) 0.0025°/パルス
最小応答分解能(参考) 0.5mdeg
MAXスピード 20°/sec
繰返し位置決め精度 0.02°
耐荷重 29.4N(3.0kgf)
ロストモーション 0.05°
センサ種類
リミットセンサ
原点センサ
近接原点センサ
i
真空仕様自動ステージ
VSGSP-120YAW
反時計周りCCW方向は∞
時計周りCW方向は0度付近(−2.5°)で停止
98N (10.0kg)
2-6 weeks
¥520,000.00
回転範囲 反時計周りCCW方向は∞
時計周りCW方向は0度付近(−2.5°)で停止
テーブル面サイズ φ120mm
移動機構 ウォーム ウォームホイール
移動ガイド クロスローラ
ステージ材質 アルミ・ステンレス
表面処理
分解能/(Full) 0.005°/パルス
分解能(Half) 0.0025°/パルス
最小応答分解能(参考) 0.5mdeg
MAXスピード 20°/sec
繰返し位置決め精度 0.02°
耐荷重 98.0N(10.0kgf)
ロストモーション 0.05°
センサ種類 GN-STM35A-1(㈱メトロール)
リミットセンサ 真空タッチセンサ(NORMAL OPEN)
原点センサ
近接原点センサ

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◦The φ60mm size is best suited for use in smaller chambers.
◦The φ120mm size has a high load capacity due the larger bearing and larger motor.

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