X軸ピエゾアシストステージ
TADC-401SRPA

手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。
ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。
◦ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。
名前 | X軸ピエゾアシストステージ |
---|---|
質量 | 0.1600kgs |
Guide | ▶微動機構の調整には、ピエゾアシスト専用コントローラ(PASC)をご使用ください。ピエゾアシストステージには、ピエゾアシストコントローラ専用接続ケーブル(2m)が付属しています。 |
Attention |
▶ステージを設置する際には、マイクロあてに衝撃を与えないようにご注意ください。ピエゾアシスト機構が破損する恐れがあります。 ▶ピエゾアシスト専用コントローラ(PASC)の電源をOFFにすると、ピエゾアシストの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。 |
Stage Size | 40×40mm |
Travel | ±6.5mm |
Mounting Thread | M3 |
テーブル面サイズ | 40×40mm |
粗動移動量 | ±6.5mm |
微動移動量 | 30µm以上 |
マイクロ操作位置 | サイド |
移動量/1回転 | 0.5mm |
マイクロメータ最小読取 | 0.01mm |
微動最小分解能 | 20nm以下 |
移動ガイド | ボールガイド |
主要材質 | アルミ |
表面処理 | 黒アルマイト |
耐荷重 | 49N(5kgf) |
移動精度/真直度 | 3μm |
許容モーメント荷重/ピッチング | 2.5N・m |
許容モーメント荷重/ローリング | 3N・m |
許容モーメント荷重/ヨーイング | 2.5N・m |
モーメント剛性/ピッチング | 0.66″/N・cm |
モーメント剛性/ローリング | 0.36″/N・cm |
平行度 | 30μm |
移動平行度 | 10μm |
質量 | 0.16kg |
在庫あり
SKU
TADC-401SRPA
¥68,000.00
手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。
ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。