X軸ピエゾアシストステージ

TADC-401SPA

手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。

◦ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。

詳しくは
名前	X軸ピエゾアシストステージ
質量	0.1600kgs
Guide	▶微動機構の調整には、ピエゾアシスト専用コントローラ（PASC)をご使用ください。ピエゾアシストステージには、ピエゾアシストコントローラ専用接続ケーブル（2m）が付属しています。
Attention	▶ステージを設置する際には、マイクロあてに衝撃を与えないようにご注意ください。ピエゾアシスト機構が破損する恐れがあります。 ▶ピエゾアシスト専用コントローラ（PASC)の電源をOFFにすると、ピエゾアシストの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。
Stage Size	40×40mm
Travel	±6.5mm
Mounting Thread	M3
テーブル面サイズ	40×40mm
粗動移動量	±6.5mm
微動移動量	30µm以上
マイクロ操作位置	サイド
移動量/1回転	0.5mm
マイクロメータ最小読取	0.01mm
微動最小分解能	20nm以下
移動ガイド	ボールガイド
主要材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
耐荷重	49N(5kgf)
移動精度/真直度	3μm
許容モーメント荷重/ピッチング	2.5N･m
許容モーメント荷重/ローリング	3N・m
許容モーメント荷重/ヨーイング	2.5N･m
モーメント剛性/ピッチング	0.66″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.36″/N・cm
平行度	30μm
移動平行度	10μm
質量	0.16kg

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SKU

TADC-401SPA

￥68,000.00