X軸ピエゾアシストステージ
TADC-251SPA

手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。
ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。
◦ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。
名前 | X軸ピエゾアシストステージ |
---|---|
質量 | 0.0700kgs |
Stage Size | 25×25mm |
Travel | ±3mm |
Mounting Thread | M2 |
テーブル面サイズ | 25×25mm |
粗動移動量 | ±3mm |
微動移動量 | 25µm以上 |
マイクロ操作位置 | サイド |
移動量/1回転 | 0.5mm |
マイクロメータ最小読取 | 0.01mm |
微動最小分解能 | 20nm以下 |
移動ガイド | ボールガイド |
主要材質 | アルミ |
表面処理 | 黒アルマイト |
耐荷重 | 39.2N(4.0kgf) |
移動精度/真直度 | 3μm |
許容モーメント荷重/ピッチング | 2.0N・m |
許容モーメント荷重/ローリング | 1.9N・m |
許容モーメント荷重/ヨーイング | 1.9N・m |
モーメント剛性/ピッチング | 2.5″/N・cm |
モーメント剛性/ローリング | 2.0″/N・cm |
平行度 | 30μm |
移動平行度 | 10μm |
質量 | 0.07kg |
在庫あり
SKU
TADC-251SPA
¥67,500.00
手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。
ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。