10nm分解能ステージ専用コントローラ
CONTROL_FS_PX-5
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CONTROL_FS_PX-5
10nmフィードバックステージ（FS-PXシリーズ）を10nmの分解能で制御する専用コントローラです。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。
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Guide
▶WEBより以下のサンプルプログラムをダウンロード可能です。
◦SG Sample 32/64ビット版Windows®用（RS232Cのみ）
◦LabVIEW RS232C/GPIB/(TCP_IP)用 (バージョン2014/2015/2016/2017/2018/2019用)
▶FC-511の取扱説明書はこちらから。
▶FC-514の取扱説明書はこちらから。
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