X軸ガラススケール内蔵自動ステージシステム (HST/CE)

HST(GS)

X軸ガラススケール内蔵自動ステージシステム (HST/CE)
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HST(GS)
高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。
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注意 ▶HST(GS)シリーズをクローズドループ制御で駆動する際には、カタログ掲載仕様値内でご使用していただくために、コントローラのモーター分割数設定を100以上(1パルスあたりの移動量0.05μm以下)を推奨いたします。

Guide ▶ガラススケールの理論分解能は0.05μm設定となっています。
▶カタログ掲載以外の分解能をご希望される場合は、営業までご相談ください。

名前 Travel Load Capacity 出荷 価格 カートに追加
i
ガラススケール内蔵精密自動ステージ
HST(GS)-200X
200mm 392N (40.0kg)
2-6 weeks
¥750,000.00
移動量 200mm
テーブル面サイズ 165×420mm
送りネジ ボールネジ径φ10mm、リード2mm
移動ガイド クロスローラ
ステージ材質
質量 18.9kg
分解能(Full) 4μm/パルス
分解能(Half) 2μm/パルス
MAXスピード 20mm/sec
位置決め精度 5μm
繰返し位置決め精度 0.8μm
耐荷重 392N(40.0kgf)
モーメント剛性/ピッチング 0.01″/N・cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.01″/N・cm
モーメント剛性/ローリング 0.005″/N・cm
ロストモーション 0.5μm
バックラッシ 1μm
平行度 100μm
運動の平行度 20μm
ピッチング 20″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPIF(シャープ㈱)
リミットセンサ 有(NORMAL CLOSE)
原点センサ 有(NORMAL OPEN)
近接原点センサ 有(NORMAL OPEN)
納期の目安 1
モータ  タイプ 5相ステッピングモータ 1.4A/相
(オリエンタルモーター㈱)
モータ  品番 PKP544N18B(□42mm)
モータ  ステップ角 0.72°
センサ  電源電圧 DC5~24V±10%
センサ  消費電流 80mA以下(1センサあたり20mA以下)
センサ  制御出力 NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
センサ  出力論理 遮光時 : :出力トランジスタOFF(非導通):リミットセンサ
遮光時::出力トランジスタON(導通):原点センサ、近接原点センサ
スケールヘッド 電源電圧/消費電力 DC5V±5% / 100mA
ドライバケーブル D15D15A-CA
スケールケーブル GSEF-CA-3
適応コントローラ SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-SH
軸タイプ X軸
スケール付
i
ガラススケール内蔵精密自動ステージ
HST(GS)-50X
50mm 392N (40.0kg)
in stock
¥500,000.00
移動量 50mm
テーブル面サイズ 165×165mm
送りネジ ボールネジ径φ10mm、リード2mm
移動ガイド クロスローラ
ステージ材質
質量 8.8kg
分解能(Full) 4μm/パルス
分解能(Half) 2μm/パルス
MAXスピード 10mm/sec
位置決め精度 3μm
繰返し位置決め精度 0.5μm
耐荷重 392N(40.0kgf)
モーメント剛性/ピッチング 0.01″/N・cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.01″/N・cm
モーメント剛性/ローリング 0.005″/N・cm
ロストモーション 0.5μm
バックラッシ 1μm
平行度 50μm
運動の平行度 10μm
ピッチング 15″
ヨーイング 15″
センサ品番 マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPIF(シャープ㈱)
リミットセンサ 有(NORMAL CLOSE)
原点センサ 有(NORMAL OPEN)
近接原点センサ 有(NORMAL OPEN)
納期の目安 1
モータ  タイプ 5相ステッピングモータ 1.4A/相
(オリエンタルモーター㈱)
モータ  品番 PKP544N18B(□42mm)
モータ  ステップ角 0.72°
センサ  電源電圧 DC5~24V±10%
センサ  消費電流 80mA以下(1センサあたり20mA以下)
センサ  制御出力 NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
センサ  出力論理 遮光時 : :出力トランジスタOFF(非導通):リミットセンサ
遮光時::出力トランジスタON(導通):原点センサ、近接原点センサ
スケールヘッド 電源電圧/消費電力 DC5V±5% / 100mA
ドライバケーブル D15D15A-CA
スケールケーブル GSEF-CA-3
適応コントローラ SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-SH
軸タイプ X軸
スケール付
i
ガラススケール内蔵精密自動ステージ
HST(GS)-100X
100mm 392N (40.0kg)
2-6 weeks
¥570,000.00
移動量 100mm
テーブル面サイズ 165×220mm
送りネジ ボールネジ径φ10mm、リード2mm
移動ガイド クロスローラ
ステージ材質
質量 10.7kg
分解能(Full) 4μm/パルス
分解能(Half) 2μm/パルス
MAXスピード 10mm/sec
位置決め精度 4μm
繰返し位置決め精度 0.5μm
耐荷重 392N(40.0kgf)
モーメント剛性/ピッチング 0.01″/N・cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.01″/N・cm
モーメント剛性/ローリング 0.005″/N・cm
ロストモーション 0.5μm
バックラッシ 1μm
平行度 70μm
運動の平行度 10μm
ピッチング 20″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPIF(シャープ㈱)
リミットセンサ 有(NORMAL CLOSE)
原点センサ 有(NORMAL OPEN)
近接原点センサ 有(NORMAL OPEN)
納期の目安 1
モータ  タイプ 5相ステッピングモータ 1.4A/相
(オリエンタルモーター㈱)
モータ  品番 PKP544N18B(□42mm)
モータ  ステップ角 0.72°
センサ  電源電圧 DC5~24V±10%
センサ  消費電流 80mA以下(1センサあたり20mA以下)
センサ  制御出力 NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
センサ  出力論理 遮光時 : :出力トランジスタOFF(非導通):リミットセンサ
遮光時::出力トランジスタON(導通):原点センサ、近接原点センサ
スケールヘッド 電源電圧/消費電力 DC5V±5% / 100mA
ドライバケーブル D15D15A-CA
スケールケーブル GSEF-CA-3
適応コントローラ SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-SH
軸タイプ X軸
スケール付

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◦リニアエンコーダ信号のフィードバックとマイクロステップ駆動により、送りネジ機構特有のリード誤差を最小限に抑えることができます。
◦線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
◦サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。

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