ガラススケール内蔵精密自動ステージ

HST(GS)-200X

高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。

◦リニアエンコーダ信号のフィードバックとマイクロステップ駆動により、送りネジ機構特有のリード誤差を最小限に抑えることができます。
◦線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
◦サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。

詳しくは

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名前	ガラススケール内蔵精密自動ステージ
質量	18.9000kgs
Guide	▶ガラススケールの理論分解能は0.05μm設定となっています。 ▶カタログ掲載以外の分解能をご希望される場合は、営業までご相談ください。
Attention	▶HST(GS)シリーズをクローズドループ制御で駆動する際には、カタログ掲載仕様値内でご使用していただくために、コントローラのモーター分割数設定を100以上（1パルスあたりの移動量0.05μm以下）を推奨いたします。
Image Label	Precision Motorized Stages with built in Glass-scale Encoder
Travel	200mm
Load Capacity	392N (40.0kg)
移動量	200mm
テーブル面サイズ	165×420mm
送りネジ	ボールネジ径φ10mm、リード2mm
移動ガイド	クロスローラ
ステージ材質	鉄
質量	18.9kg
分解能（Full）	4μm/パルス
分解能（Half）	2μm/パルス
MAXスピード	20mm/sec
位置決め精度	5μm
繰返し位置決め精度	0.8μm
耐荷重	392N（40.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.01″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.01″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.005″/N･cm
ロストモーション	0.5μm
バックラッシ	1μm
平行度	100μm
運動の平行度	20μm
ピッチング	20″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（ｼｬｰﾌﾟ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
納期の目安	1
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 1.4A/相（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	PKP544N18B（□42mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時： :出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：:出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
スケールヘッド　電源電圧/消費電力	DC5V±5％ / 100mA
ドライバケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応コントローラ	SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-SH
軸タイプ	X軸
スケール付	有

在庫あり

SKU

HST(GS)-200X

￥750,000.00

高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。

ガラススケール内蔵精密自動ステージ

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