ガラススケール内蔵精密自動ステージ
HST(GS)-50X
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高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。
◦リニアエンコーダ信号のフィードバックとマイクロステップ駆動により、送りネジ機構特有のリード誤差を最小限に抑えることができます。
◦線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
◦サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。
◦線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
◦サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。
名前 | ガラススケール内蔵精密自動ステージ |
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質量 | 8.8000kgs |
Guide |
▶ガラススケールの理論分解能は0.05μm設定となっています。 ▶カタログ掲載以外の分解能をご希望される場合は、営業までご相談ください。 |
Attention | ▶HST(GS)シリーズをクローズドループ制御で駆動する際には、カタログ掲載仕様値内でご使用していただくために、コントローラのモーター分割数設定を100以上(1パルスあたりの移動量0.05μm以下)を推奨いたします。 |
Image Label | Precision Motorized Stages with built in Glass-scale Encoder |
Travel | 50mm |
Load Capacity | 392N (40.0kg) |
移動量 | 50mm |
テーブル面サイズ | 165×165mm |
送りネジ | ボールネジ径φ10mm、リード2mm |
移動ガイド | クロスローラ |
ステージ材質 | 鉄 |
質量 | 8.8kg |
分解能(Full) | 4μm/パルス |
分解能(Half) | 2μm/パルス |
MAXスピード | 10mm/sec |
位置決め精度 | 3μm |
繰返し位置決め精度 | 0.5μm |
耐荷重 | 392N(40.0kgf) |
モーメント剛性/ピッチング | 0.01″/N・cm |
モーメント剛性/ヨーイング | 0.01″/N・cm |
モーメント剛性/ローリング | 0.005″/N・cm |
ロストモーション | 0.5μm |
バックラッシ | 1μm |
平行度 | 50μm |
運動の平行度 | 10μm |
ピッチング | 15″ |
ヨーイング | 15″ |
センサ品番 | マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPIF(シャープ㈱) |
リミットセンサ | 有(NORMAL CLOSE) |
原点センサ | 有(NORMAL OPEN) |
近接原点センサ | 有(NORMAL OPEN) |
納期の目安 | 1 |
モータ タイプ |
5相ステッピングモータ 1.4A/相 (オリエンタルモーター㈱) |
モータ 品番 | PKP544N18B(□42mm) |
モータ ステップ角 | 0.72° |
センサ 電源電圧 | DC5~24V±10% |
センサ 消費電流 | 80mA以下(1センサあたり20mA以下) |
センサ 制御出力 | NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下 |
センサ 出力論理 |
遮光時 : :出力トランジスタOFF(非導通):リミットセンサ 遮光時::出力トランジスタON(導通):原点センサ、近接原点センサ |
スケールヘッド 電源電圧/消費電力 | DC5V±5% / 100mA |
ドライバケーブル | D15D15A-CA |
スケールケーブル | GSEF-CA-3 |
適応コントローラ | SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-SH |
軸タイプ | X軸 |
スケール付 | 有 |
在庫あり
SKU
HST(GS)-50X
¥500,000.00
高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。