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SFS-H
デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。
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注意 ▶クローズ時の移動量は、オープン時より約20％低減します。
| 名前 | Travel (at open-loop control) | Load Capacity | 出荷 | 価格 | カートに追加 | |||||||||||||||||||||||||||
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シグマファインステージ(高剛性タイプ)
SFS-H40X(CL) |
90μm±15% | 9.8N (1.0kg) |
2-6 weeks
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￥250,000.00
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シグマファインステージ(高剛性タイプ)
SFS-H60Z(CL) |
100μm±15% | 9.8N (1.0kg) |
2-6 weeks
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￥270,000.00
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i
シグマファインステージ(高剛性タイプ)
SFS-H40Z(CL) |
100μm±15% | 6.7N (0.7kg) |
2-6 weeks
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￥250,000.00
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i
シグマファインステージ(高剛性タイプ)
SFS-H60XY(CL) |
100μm±15% | 14.7N (1.5kg) |
2-6 weeks
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￥490,000.00
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i
シグマファインステージ(高剛性タイプ)
SFS-H60X(CL) |
100μm±15% | 19.6N (2.0kg) |
2-6 weeks
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￥250,000.00
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i
シグマファインステージ(高剛性タイプ)
SFS-H60XYZ(CL) |
100μm±15% | 9.8N (1.0kg) |
2-6 weeks
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￥560,000.00
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◦デジタルセンサ採用によりフルクローズ制御ができる為、高精度・高分解能の位置決め可能なピエゾステージです。
◦ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm〜100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。クローズ制御時は、移動量が10%低減します。
◦位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ）を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
◦当社コントローラFINEシリーズを使うことにより高速化を実現。
（WEB参照/カタログコードW9057）
繰り返し周波数はSFS-H(直動）において、繰り返し周波数10〜15Hzを実現FINE-01γのアナログ入力を用いると25Hzを実現します。
◦ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm〜100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。クローズ制御時は、移動量が10%低減します。
◦位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ）を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
◦当社コントローラFINEシリーズを使うことにより高速化を実現。
（WEB参照/カタログコードW9057）
繰り返し周波数はSFS-H(直動）において、繰り返し周波数10〜15Hzを実現FINE-01γのアナログ入力を用いると25Hzを実現します。
