シグマファインステージ(高剛性タイプ)
SFS-H60XY(CL)
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デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。
◦デジタルセンサ採用によりフルクローズ制御ができる為、高精度・高分解能の位置決め可能なピエゾステージです。
◦ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm～100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。クローズ制御時は、移動量が20%低減します。
◦位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ）を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
◦当社コントローラFINEシリーズを使うことにより高速化を実現。
（WEB参照/カタログコードW9057）
繰り返し周波数はSFS-H(直動）において、繰り返し周波数10〜15Hzを実現FINE-01γのアナログ入力を用いると25Hzを実現します。
◦ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm～100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。クローズ制御時は、移動量が20%低減します。
◦位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ）を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
◦当社コントローラFINEシリーズを使うことにより高速化を実現。
（WEB参照/カタログコードW9057）
繰り返し周波数はSFS-H(直動）において、繰り返し周波数10〜15Hzを実現FINE-01γのアナログ入力を用いると25Hzを実現します。
| 名前 | シグマファインステージ(高剛性タイプ) |
|---|---|
| 質量 | 0.4300kgs |
| Attention | ▶クローズ時の移動量は、オープン時より約20%低減します。 |
| Image Label | Piezo Flexure Two Axis Stage 60mm Size |
| Travel (at open-loop control) | 100μm±15% |
| Load Capacity | 14.7N (1.5kg) |
| 移動量（オープン制御時） | 100μm±15％ |
| テーブル面サイズ | 60×60mm |
| アクチュエータ | ピエゾアクチュエータ |
| 質量 | 0.43kg |
| 理論分解能（オープン時） | 1nm |
| 分解能（クローズ時） | 10nm |
| リニアリティ | ＜0.3％ |
| 垂直度（水平方向） | 1μm |
| 繰返し位置決め精度 | ＜0.1μm |
| 耐荷重 | 14.7N（1.5kgf） |
| 微小変位センサ | デジタルセンサ |
| 対応ケーブル |
FINE-CA-3：ピエゾ用 DS1-CA-3：デジタルセンサ用 |
| 納期の目安 | 問 |
在庫あり
SKU
SFS-H60XY(CL)
￥490,000.00
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デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。
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