シグマファインステージ(高剛性タイプ)
SFS-H60X(CL)
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デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。
◦デジタルセンサ採用によりフルクローズ制御ができる為、高精度・高分解能の位置決め可能なピエゾステージです。
◦ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm~100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。クローズ制御時は、移動量が20%低減します。
◦位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ)を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
◦当社コントローラFINEシリーズを使うことにより高速化を実現。
(WEB参照/カタログコードW9057)
繰り返し周波数はSFS-H(直動)において、繰り返し周波数10〜15Hzを実現FINE-01γのアナログ入力を用いると25Hzを実現します。
◦ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm~100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。クローズ制御時は、移動量が20%低減します。
◦位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ)を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
◦当社コントローラFINEシリーズを使うことにより高速化を実現。
(WEB参照/カタログコードW9057)
繰り返し周波数はSFS-H(直動)において、繰り返し周波数10〜15Hzを実現FINE-01γのアナログ入力を用いると25Hzを実現します。
名前 | シグマファインステージ(高剛性タイプ) |
---|---|
質量 | 0.4000kgs |
Attention | ▶クローズ時の移動量は、オープン時より約20%低減します。 |
Image Label | Piezo Flexure Single Axis Stage 60mm Size |
Travel (at open-loop control) | 100μm±15% |
Load Capacity | 19.6N (2.0kg) |
移動量(オープン制御時) | 100μm±15% |
テーブル面サイズ | 60×60mm |
アクチュエータ | ピエゾアクチュエータ |
質量 | 0.4kg |
理論分解能(オープン時) | 1nm |
分解能(クローズ時) | 10nm |
リニアリティ | <0.3% |
垂直度(水平方向) | 1μm |
繰返し位置決め精度 | <0.1μm |
耐荷重 | 19.6N(2.0kgf) |
微小変位センサ | デジタルセンサ |
対応ケーブル |
FINE-CA-3:ピエゾ用 DS1-CA-3:デジタルセンサ用 |
納期の目安 | 問 |
在庫あり
SKU
SFS-H60X(CL)
¥250,000.00
デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。