Sigma Fine (Piezo) Stages (high stiffness type)

SFS-H

Sigma Fine (Piezo) Stages (high stiffness type)
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SFS-H
Nanometer resolution high stiffness flexure stages.
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Attention ▶The travel at closed loop control is reduced to around 20% less than at open loop control.

Nom Travel (at open-loop control) Capacité de charge Delivery Prix Add to cart
i
Piezo Flexure Platine à Axe Unique Taille 60mm
SFS-H60X(CL)
100μm±15% 19.6N (2.0kg)
in stock
2 464,30 €
Déplacement (au contrôle en boucle ouverte) 100μm±15%
Taille de l'support 60×60mm
Actionneur Actionneur piézo
Résolution théorique (boucle ouverte 1nm
Résolution (boucle fermée) 10nm
Linéarité <0.3%
Perpendicularité (direction horizontale) 1μm
Répétabilité de position <0.1μm
Capteur de micro-déplacement Capteur numérique
Câble compatible FINE-CA-3 : Pour piézo
DS1-CA-3 : Pour capteur numérique
i
Piezo Flexure trois axes support 60mm taille
SFS-H60XYZ(CL)
100μm±15% 9.8N (1.0kg)
6-12 weeks
5 520,00 €
Déplacement (au contrôle en boucle ouverte) 100μm±15%
Taille de l'support 60×60mm
Actionneur Actionneur piézo
Résolution théorique (boucle ouverte 1nm
Résolution (boucle fermée) 10nm
Linéarité <0.5%
Perpendicularité (direction horizontale) 1μm
Répétabilité de position <0.15μm
Capteur de micro-déplacement Capteur numérique
Câble compatible FINE-CA-3 : Pour piézo
DS1-CA-3 : Pour capteur numérique
i
Piezo Flexure Platine à Axe Unique Taille 40mm
SFS-H40X(CL)
90μm±15% 9.8N (1.0kg)
6-12 weeks
2 464,30 €
Déplacement (au contrôle en boucle ouverte) 90μm±15%
Taille de l'support 40×40mm
Actionneur Actionneur piézo
Résolution théorique (boucle ouverte 1nm
Résolution (boucle fermée) 10nm
Linéarité <0.3%
Perpendicularité (direction horizontale) 1μm
Répétabilité de position <0.1μm
Capteur de micro-déplacement Capteur numérique
Câble compatible Câble attaché (2 m)
i
Platine à axe vertical piézo-flexible, taille 60 mm
SFS-H60Z(CL)
100μm±15% 9.8N (1.0kg)
6-12 weeks
2 314,30 €
Déplacement (au contrôle en boucle ouverte) 100μm±15%
Taille de l'support 60×60mm
Actionneur Actionneur piézo
Résolution théorique (boucle ouverte 1nm
Résolution (boucle fermée) 10nm
Linéarité <0.3%
Perpendicularité (direction horizontale) 1μm
Répétabilité de position <0.1μm
Capteur de micro-déplacement Capteur numérique
Câble compatible FINE-CA-3 : Pour piézo
DS1-CA-3 : Pour capteur numérique
i
Platine à axe vertical à flexion piézo, taille 40 mm
SFS-H40Z(CL)
100μm±15% 6.7N (0.7kg)
6-12 weeks
2 464,30 €
Déplacement (au contrôle en boucle ouverte) 100μm±15%
Taille de l'support 40×40mm
Actionneur Actionneur piézo
Résolution théorique (boucle ouverte 1nm
Résolution (boucle fermée) 10nm
Linéarité <0.3%
Perpendicularité (direction horizontale) 1μm
Répétabilité de position <0.1μm
Capteur de micro-déplacement Capteur numérique
Câble compatible Câble attaché (2m)
i
Piezo Flexure Two Axis support Taille 60mm
SFS-H60XY(CL)
100μm±15% 14.7N (1.5kg)
6-12 weeks
4 830,00 €
Déplacement (au contrôle en boucle ouverte) 100μm±15%
Taille de l'support 60×60mm
Actionneur Actionneur piézo
Résolution théorique (boucle ouverte 1nm
Résolution (boucle fermée) 10nm
Linéarité <0.3%
Perpendicularité (direction horizontale) 1μm
Répétabilité de position <0.1μm
Capteur de micro-déplacement Capteur numérique
Câble compatible FINE-CA-3 : Pour piézo
DS1-CA-3 : Pour capteur numérique

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◦These compact piezo stages offer high precision and high resolution positioning by utilizing full closed loop control with digital frequency based sensors.
◦Using piezo element actuators, open loop travel between 90μm − 100μm is available, with minimum incremental motion as small as 1nm. Compared to the open-loop control, the maximum travel of closed-loop control will be less about 10%.
◦Closed loop travel is 80% of the open loop maximum and closed loop resolution is 10nm.
◦Recommended controllers are the FINE series controllers. Both digital and analog inputs are available.

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