5nmフィードバックステージ
FS-1050SPX
5nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め（位置再現性）、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め（位置再現性）、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。
| 名前 | 5nmフィードバックステージ |
|---|---|
| 質量 | 1.6000kgs |
| Stage Size | 120×120mm |
| 移動量 | 50mm |
| テーブル面サイズ | 120×120mm |
| 送りネジ | ボールねじ径φ6mm、リード1mm |
| 質量 | 1.6㎏ |
| 最小分解能※1 | 5nm |
| 繰返し位置決め精度※1 | ±10nm |
| 耐荷重 | 98N(10kgf) |
| 走り平行度 | 10μm |
| ※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。 | |
| 主要材質 | アルミ |
| 表面処理 | 黒アルマイト |
| モータ タイプ | □28mm 5相ステッピングモータ |
| センサ リミットセンサ | 有 |
| センサ 原点センサ | 無 |
| センサ 近接原点センサ | 無 |
| 信号周期 | 2μm |
| スケールケーブル※ | 2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 |
| 適応コントローラ | FC-611 |
| 適応ケーブル | PM-CA-* |
在庫あり
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FS-1050SPX
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5nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め（位置再現性）、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め（位置再現性）、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。
