5nmフィードバックステージ専用コントローラ
FC-611
5nmフィードバックステージ(FS-SPXシリーズ)を5nmの分解能で制御する専用コントローラです。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。
名前 | 5nmフィードバックステージ専用コントローラ |
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質量 | 5.2000kgs |
Guide |
▶WEBより以下のサンプルプログラムをダウンロード可能です。 ◦SG Sample 32/64ビット版Windows®用(RS232Cのみ) ◦LabVIEW RS232C/GPIB/(TCP_IP)用 (バージョン2014/2015/2016/2017/2018/2019用) ▶取扱説明書はこちらから。 ▶ナノステージコントローラ操作ガイド動画 (表示及び操作編)はこちらから。 (通信操作編)はこちらから。 (パラメータ編)はこちらから。 (TEACH操作編)はこちらから。 |
制御軸数 | 2軸 |
最小指令単位 | 5nm |
インポジション範囲 | ±5nm (±15,±35nm選択可能) |
最大動作速度設定値 | 30mm/sec |
最大移動距離設定範囲 | -671.088640~+671.088635mm |
制御インターフェイス・ポート数 | ジョグコントローラ |
ティーチング | 登録チャンネル数 |
電源電圧 | AC100~240V 50/60Hz |
電源電圧変動許容範囲 | AC90V~264V |
消費電力 | 110VA |
ヒューズ | 250V, 2.5A, タイムラグ, 2本 |
外形寸法(W×H×Dmm) | W220×H88×D290mm |
質量 | 5.2㎏ |
動作温度/湿度 | 0℃~40℃/20%~80%RH(結露なきこと) |
保存温度/湿度 | ー10℃~55℃/20%~80%RH(結露なきこと) |
接続可能オプション | JC-01 |
通信ポート | GP-IB |
汎用I/Oポート | 入力 |
緊急停止入力 | B接点(固定) |
在庫あり
SKU
FC-611
5nmフィードバックステージ(FS-SPXシリーズ)を5nmの分解能で制御する専用コントローラです。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。