5nmフィードバックステージ
FS-1020SPX
5nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。
名前 | 5nmフィードバックステージ |
---|---|
質量 | 0.5000kgs |
Stage Size | 60×60mm |
移動量 | 20mm |
テーブル面サイズ | 60×60mm |
送りネジ | ボールねじ径φ4mm、リード1mm |
質量 | 0.5㎏ |
最小分解能※1 | 5nm |
繰返し位置決め精度※1 | ±10nm |
耐荷重 | 49N(5kgf) |
走り平行度 | 10μm |
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。 | |
主要材質 | アルミ |
表面処理 | 黒アルマイト |
モータ タイプ | □28mm 5相ステッピングモータ |
センサ リミットセンサ | 有 |
センサ 原点センサ | 無 |
センサ 近接原点センサ | 無 |
信号周期 | 2μm |
スケールケーブル※ | 2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 |
適応コントローラ | FC-611 |
適応ケーブル | PM-CA-* |
在庫あり
SKU
FS-1020SPX
5nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。