高耐久型自動回転ステージ

HDS-YAW

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HDS-YAW

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

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注意 ▶HDSシリーズは水平面に設置してご使用ください。天地逆転や垂直面に取り付けた場合は、性能を保証できません。もし、特殊な取り付けを希望される場合は、営業までお問合せ下さい。

Guide ▶HDSシリーズの原点センサはストロークの中心（0°）付近にあります。

名前 Rotation Range Load Capacity 出荷価格カートに追加

高耐久型自動アライメントステージ
HDS-120YAW

±6°

98N (10.0kg)

2-6 weeks

￥260,000.00

回転範囲	±6°
テーブル面サイズ	φ120mm
移動機構	ボールネジ＋スチールベルト
移動ガイド	クロスローラ
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	2.0kg
分解能　（Full）	約0.0022°/パルス
分解能　（Half）	約0.0011°/パルス
最小応答分解能（参考）	0.5mdeg
MAXスピード	60°/sec
位置決め精度	0.05°
繰返し位置決め精度	0.003°
耐荷重	98N（10.0kgf）
モーメント剛性	0.1″/N･cm
ロストモーション	0.003°
バックラッシ	0.05°
平行度	50μm
同心度	10μm（±5°の範囲内）
面振れ量	0.01μm （±5°の範囲内）
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S097HCZ（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	無
納期の目安	1
モータ　　タイプ	HDS-60YAW：5相ステッピングモータ　0.75/相（多摩川精機㈱） HDS-80YAW、HDS-120YAW：5相ステッピングモータ　0.75A/相　（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	HDS-60YAW：TS3664N4E10（□24mm）　　 HDS-80YAW、HDS-120YAW：PK523HPB-C12（□28mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	60mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ　遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ
適応ドライバ	SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ	GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ	回転
スケール付	無

高耐久型自動アライメントステージ
HDS-60YAW

±5°

29.4N (3.0kg)

in stock

￥140,000.00

回転範囲	±5°
テーブル面サイズ	φ60mm
移動機構	ボールネジ＋スチールベルト
移動ガイド	ベアリング方式
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	0.5kg
分解能　（Full）	約0.0053°/パルス
分解能　（Half）	約0.0027°/パルス
最小応答分解能（参考）	0.5mdeg
MAXスピード	60°/sec
位置決め精度	0.05°
繰返し位置決め精度	0.003°
耐荷重	29.4N（3.0kgf）
モーメント剛性	1″/N･cm
ロストモーション	0.003°
バックラッシ	0.05°
平行度	50μm
同心度	10μm（±5°の範囲内）
面振れ量	0.01μm （±5°の範囲内）
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S097HCZ（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	無
納期の目安	1
モータ　　タイプ	HDS-60YAW：5相ステッピングモータ　0.75/相（多摩川精機㈱） HDS-80YAW、HDS-120YAW：5相ステッピングモータ　0.75A/相　（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	HDS-60YAW：TS3664N4E10（□24mm）　　 HDS-80YAW、HDS-120YAW：PK523HPB-C12（□28mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	60mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ　遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ
適応ドライバ	SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ	GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ	回転
スケール付	無

高耐久型自動アライメントステージ
HDS-80YAW

±5°

58.8N (6.0kg)

2-6 weeks

￥200,000.00

回転範囲	±5°
テーブル面サイズ	φ80mm
移動機構	ボールネジ＋スチールベルト
移動ガイド	ベアリング方式
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	1.3kg
分解能　（Full）	約0.0038°/パルス
分解能　（Half）	約0.0019°/パルス
最小応答分解能（参考）	0.5mdeg
MAXスピード	60°/sec
位置決め精度	0.05°
繰返し位置決め精度	0.003°
耐荷重	58.8N（6.0kgf）
モーメント剛性	0.2″/N･cm
ロストモーション	0.003°
バックラッシ	0.05°
平行度	50μm
同心度	10μm（±5°の範囲内）
面振れ量	0.01μm （±5°の範囲内）
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S097HCZ（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	無
納期の目安	1
モータ　　タイプ	HDS-60YAW：5相ステッピングモータ　0.75/相（多摩川精機㈱） HDS-80YAW、HDS-120YAW：5相ステッピングモータ　0.75A/相　（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	HDS-60YAW：TS3664N4E10（□24mm）　　 HDS-80YAW、HDS-120YAW：PK523HPB-C12（□28mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	60mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ　遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ
適応ドライバ	SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ	GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ	回転
スケール付	無

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◦試料ごとに微小な回転角度を調整する自動のアライメント装置などの用途に最適です。
◦駆動機構にボールネジを使用することで、部品の磨耗やガタツキを減らし、高耐久性を実現しました。
◦ボールネジによる直線運動をスチールベルトにより回転運動に変換しているため、分解能や回転速度はストロークセンターとストロークエンドとで差が生じることがありません。