高耐久型自動アライメントステージ
HDS-80YAW
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半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
| 名前 | 高耐久型自動アライメントステージ |
|---|---|
| 質量 | 1.3000kgs |
| Guide | ▶HDSシリーズの原点センサはストロークの中心（0°）付近にあります。 |
| Attention | ▶HDSシリーズは水平面に設置してご使用ください。天地逆転や垂直面に取り付けた場合は、性能を保証できません。もし、特殊な取り付けを希望される場合は、営業までお問合せ下さい。 |
| Image Label | Motorized Rotation Stage High Accuracy 80mm Size |
| Rotation Range | ±5° |
| Load Capacity | 58.8N (6.0kg) |
| 回転範囲 | ±5° |
| テーブル面サイズ | φ80mm |
| 移動機構 | ボールネジ＋スチールベルト |
| 移動ガイド | ベアリング方式 |
| ステージ上面材質 | アルミ |
| 表面処理 | 黒アルマイト |
| 質量 | 1.3kg |
| 分解能 （Full） | 約0.0038°/パルス |
| 分解能 （Half） | 約0.0019°/パルス |
| 最小応答分解能（参考） | 0.5mdeg |
| MAXスピード | 60°/sec |
| 位置決め精度 | 0.05° |
| 繰返し位置決め精度 | 0.003° |
| 耐荷重 | 58.8N（6.0kgf） |
| モーメント剛性 | 0.2″/N･cm |
| ロストモーション | 0.003° |
| バックラッシ | 0.05° |
| 平行度 | 50μm |
| 同心度 | 10μm（±5°の範囲内） |
| 面振れ量 | 0.01μm （±5°の範囲内） |
| センサ品番 | マイクロフォトセンサ：GP1S097HCZ（シャープ㈱） |
| リミットセンサ | 有（NORMAL CLOSE） |
| 原点センサ | 有（NORMAL OPEN） |
| 近接原点センサ | 無 |
| 納期の目安 | 1 |
| モータ タイプ |
HDS-60YAW：5相ステッピングモータ 0.75/相 （多摩川精機㈱） HDS-80YAW、HDS-120YAW：5相ステッピングモータ 0.75A/相 （オリエンタルモーター㈱） |
| モータ 品番 |
HDS-60YAW：TS3664N4E10（□24mm） HDS-80YAW、HDS-120YAW：PK523HPB-C12（□28mm） |
| モータ ステップ角 | 0.72° |
| センサ 電源電圧 | DC5～24V±10％ |
| センサ 消費電流 | 60mA以下（1センサあたり20mA以下） |
| センサ 制御出力 | NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下 |
| センサ 出力論理 |
遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ 遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ |
| 適応ドライバ | SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL |
| 適応コントローラ | GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103 |
| 軸タイプ | 回転 |
| スケール付 | 無 |
在庫あり
SKU
HDS-80YAW
￥200,000.00
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半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
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