ガラススケール内蔵自動ステージシステム

TSDM(GS)

ガラススケール内蔵自動ステージシステム
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TSDM(GS)
高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。
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名前 Travel Load Capacity 出荷 価格 カートに追加
i
ガラススケール内蔵小型自動ステージ
TSDM(GS)60-15X
±15mm 19.6N (2.0kg)
in stock
¥238,000.00
移動量 15mm
テーブル面サイズ 60×60mm
送りネジ 精密研削ネジφ5mm、リード0.5mm
移動ガイド ボールガイド
ステージ材質
分解能(Full) 1μm/パルス
分解能(Half) 0.5μm/パルス
MAXスピード 5mm/sec
位置決め精度 5μm
繰返し位置決め精度 0.5μm
耐荷重 19.6N(2.0kgf)
モーメント剛性/ピッチング 0.4″/N・cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.4″/N・cm
モーメント剛性/ローリング 0.4″/N・cm
ロストモーション 0.5μm
バックラッシ 10μm
平行度 50μm
運動の平行度 10μm
運動の垂直度 -
ピッチング 15″
ヨーイング 15″
センサ品番 GP1S092HCPI(シャープ㈱)
リミットセンサ 有(NORMAL CLOSE)
原点センサ
近接原点センサ
i
ガラススケール内蔵小型自動ステージ
TSDM(GS)80-20X
±20mm 29.4N (3.0kg)
in stock
¥258,000.00
移動量 20mm
テーブル面サイズ 80×80mm
送りネジ 精密研削ネジφ5mm、リード0.5mm
移動ガイド ボールガイド
ステージ材質
分解能(Full) 1μm/パルス
分解能(Half) 0.5μm/パルス
MAXスピード 5mm/sec
位置決め精度 5μm
繰返し位置決め精度 0.5μm
耐荷重 29.4N(3.0kgf)
モーメント剛性/ピッチング 0.2″/N・cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.2″/N・cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N・cm
ロストモーション 0.5μm
バックラッシ 10μm
平行度 50μm
運動の平行度 10μm
運動の垂直度 -
ピッチング 15″
ヨーイング 15″
センサ品番 PM-L24(SUNX㈱)
リミットセンサ 有(NORMAL CLOSE)
原点センサ
近接原点センサ
i
ガラススケール内蔵小型自動ステージ
TSDM(GS)60-10ZF
10mm 19.6N (2.0kg)
in stock
¥328,000.00
移動量 10mm
テーブル面サイズ 60×60mm
送りネジ 精密研削ネジφ5mm、リード0.5mm
移動ガイド ボールガイド
ステージ材質
分解能(Full) 1μm/パルス
分解能(Half) 0.5μm/パルス
MAXスピード 2mm/sec
位置決め精度 2μm
繰返し位置決め精度 0.5μm
耐荷重 19.6N(2.0kgf)
モーメント剛性/ピッチング 2″/N・cm
モーメント剛性/ヨーイング 2″/N・cm
モーメント剛性/ローリング -
ロストモーション 0.5μm
バックラッシ 5μm
平行度 50μm
運動の平行度 -
運動の垂直度 8μm
ピッチング 15″
ヨーイング -
センサ品番 PM-F24(SUNX㈱)
リミットセンサ 有(NORMAL CLOSE)
原点センサ
近接原点センサ

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◦リニアエンコーダ信号のフィードバックとマイクロステップ駆動により、送りネジ機構特有のリード誤差を最小限に抑えることができます。
◦線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
◦サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。

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