ガラススケール内蔵小型自動ステージ
TSDM(GS)60-15X
高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。
◦リニアエンコーダ信号のフィードバックとマイクロステップ駆動により、送りネジ機構特有のリード誤差を最小限に抑えることができます。
◦線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
◦サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。
◦線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
◦サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。
| 名前 | ガラススケール内蔵小型自動ステージ |
|---|---|
| 質量 | 0.8000kgs |
| Image Label | Precision Motorized Stages with built in Glass-scale Encoder |
| Travel | ±15mm |
| Load Capacity | 19.6N (2.0kg) |
| 移動量 | 15mm |
| テーブル面サイズ | 60×60mm |
| 送りネジ | 精密研削ネジφ5mm、リード0.5mm |
| 移動ガイド | ボールガイド |
| ステージ材質 | 鉄 |
| 分解能(Full) | 1μm/パルス |
| 分解能(Half) | 0.5μm/パルス |
| MAXスピード | 5mm/sec |
| 位置決め精度 | 5μm |
| 繰返し位置決め精度 | 0.5μm |
| 耐荷重 | 19.6N(2.0kgf) |
| モーメント剛性/ピッチング | 0.4″/N･cm |
| モーメント剛性/ヨーイング | 0.4″/N･cm |
| モーメント剛性/ローリング | 0.4″/N･cm |
| ロストモーション | 0.5μm |
| バックラッシ | 10μm |
| 平行度 | 50μm |
| 運動の平行度 | 10μm |
| 運動の垂直度 | - |
| ピッチング | 15″ |
| ヨーイング | 15″ |
| センサ品番 | GP1S092HCPI(シャープ㈱) |
| リミットセンサ | 有(NORMAL CLOSE) |
| 原点センサ | 無 |
| 近接原点センサ | 無 |
在庫あり
SKU
TSDM(GS)60-15X
￥238,000.00
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高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。
