サブミクロンフィードバックステージ専用コントローラ

サブミクロンフィードバックステージ（FS-Xシリーズ）を制御する専用コントローラです。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。