自動ステージ
ガイダンス
真空仕様自動ステージガイダンス
真空仕様ステージシリーズは真空環境下において使用できるように、ステンレス及びアルミ削り出しのボディや真空グリスへの交換はもちろん、アウトガスの発生を抑えるために真空仕様モータ、接点式もしくは機械式真空スイッチを使い、信号線にはテフロンコーティングケーブルを採用しています。
そのため真空度10－4～10－5Pa までの環境下での位置決めご用途に適しています。
その真空特性は放出ガス量、真空度、質量成分比測定データをご覧ください。
標準ラインナップ以外でもモータ交換、センサ交換、大型ミラーホルダ真空対応などの特注仕様や抵真空仕様として通常仕様ステージのガイドや送りネジ部に対して真空グリスへの交換対応も行なっています。営業までご相談ください。
注意
真空仕様ステージを真空チャンバー内で使用するためには、真空側－大気側の結線ケーブルを 電流導入端子などで中継する必要があります。 真空チャンバーの仕様に合わせてご準備ください。
特注例 真空仕様大型ミラーホルダー
ご案内
真空中では一般に放熱性が悪くなるため、使用温度条件は大気中より厳しくなります。
モータケース温度が最大80℃を超えないようにステージ動作等ご使用条件の設定をお願いします。
放出ガス量
| 品 番 | 放出ガス量Q（40分排気後） | |
| （Torr・ℓ/s/unit） | （Pa・ℓ/s/unit） | |
| VSGSP26-200 | 4.77×10－4 | 6.36×10－2 |
| VSGSP-60 | 6.75×10－5 | 9.00×10－3 |
| VSGSP-120YAW | 4.78×10－4 | 6.37×10－2 |
| 評価、装置の仕様 | |
| 排気装置： | ターボ分子ポンプ STP-301 セイユー精機（株）（現：エドワーズ（株）製） 排気速度：300ℓ/sec |
| 質量分析装置 ： | 四重極質量分析器 QME200 PFEIFFER社製 マストレンジ：1～200amu |
放出ガス量Qは次式で求められる。
真空仕様自動ステージから放出されるガス量を計測結果から
アウトガスの主成分は、水と窒素です。
これはステージ表面に付着した空気によるもので、駆動用に使用しているグリースからのガスの影響は小さいと考えられます。
真空チャンバーの到達真空度 
質量成分比 
資料
マスピークの解釈
残留ガスにおいてマスピーク（マス・スペクトル）を測定した時に、各質量数に出現するピークがどういったガスなのか、 その主なものの一覧表及びその解釈について記載します。
残留ガススペクトルの一覧表
