自動ステージ

ガイダンス

ACサーボモータ駆動ステージシステム SGMV

ACサーボモータ駆動の高精度・高剛性ステージです。 ステージ本体は精密な直動案内のガイドと精密ボールネジの機能を一体化した構造で、 かつ直動案内のガイド、インナブロック(テーブル)、駆動ボールネジとが同位置に、 ガイドに剛性の高いU字形状のアウタレールを採用した、省スペースで大きい定格荷重仕様になっています。

  • タクトタイム短縮のため高速で急激な加減速を伴う生産装置などでは、 高速域まで十分なトルクを発生し、位置ズレの発生しにくいACサーボモータステージを推奨します。
  • 静止時の安定性が求められる光学系の位置決めにはステッピングモータステージを推奨します。
SGMV
モータ種類 ステッピングモータ サーボモータ
制御方式 オープンループ制御 セミクローズドループ制御
トルク特性 低速トルクが大きく
高速域で小さい
低~高速域まで
同じトルクを発生
静止時安定性 通常は極めて安定しているが、外力等により位置ずれがあっても検知できない。 インポジションの範囲内でふらつく可能性があるが、外力等で位置ずれがあってもエンコーダで検知し元の位置に戻る。
推奨する用途 光学系や微小域の位置決め・計測など、軽負荷で静止時の安定性が重視される用途 生産ラインなど、高速時や負荷変動時でも位置ずれが許されない用途

制御系は、オートチューニング機能を持ち、専用ケーブルを接続するだけで使用できるステージコントローラシステム、 および既存のFAシステムと親和性の高いサーボパックを用意しております。

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