自動ステージ
ガイダンス
ピエゾガイダンス
シグマファインステージはガイド機構に金属の弾性変形を用いたガタの生じない案内方式とピエゾ素子の変形を拡大する機構を採用しています。当社独自の設計によりクローズドループ制御時の表示分解能10nmを実現し、高速高精度位置決めを必要とする用途に最適なステージです。
シグマファインステージの構造
ピエゾアクチュエータと変位拡大機構による大きな稼働範囲
デジタルセンサ高精度のアナログアンプやAD変換回路を必要としないデジタルセンサによるクローズドループ制御が可能
シグマファインステージの使用環境
ファインステージは、使用環境温度範囲内でご使用ください。
使用環境温度範囲外でご使用を検討する際には、営業までお問合せください。
*使用環境 | *推奨環境 |
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温度:10℃ ~ 30℃ | 温度:20℃ ± 1℃ |
湿度:20%~60%(非結露) | 湿度:40%以下 |
SFS/SFS-Hステージシリーズに使用しております圧電素子は、湿度が高い環境では耐久性が劣化しますので、 上記環境下にてご使用ください。
シグマファインシステム系統図
精度測定例 : シグマファインステージシステム SFS-H(直動ステージ)
0⇔75µm繰返し周波数(16Hz)
クローズド制御時
by SFS-H60X at 150g load
0⇒1µmステップ収斂データ(15msec)
クローズド制御時
by SFS-H60X at 150g load
オープン制御時の移動量で、ピエゾアクチュエータ特有のヒステリシスカーブを示します。
0⇔80µmリニアリティ 0.3%以内
クローズド制御時
by SFS-H60X at 150g load
0⇔80µm繰返し位置決め精度 50nm以下
by SFS-H60X at 150g load
クローズド制御状態で、送り量が小さい時の特性です。オープン制御時のヒステリシスがなくなります。
進行方向に対する傾きを示します。
進行方向に対する前後の傾きを 示します。
進行方向に対する左右の振れを 示します。