自動ステージ

ガイダンス

ピエゾガイダンス

シグマファインステージはガイド機構に金属の弾性変形を用いたガタの生じない案内方式とピエゾ素子の変形を拡大する機構を採用しています。当社独自の設計によりクローズドループ制御時の表示分解能10nmを実現し、高速高精度位置決めを必要とする用途に最適なステージです。

シグマファインステージの構造

変位拡大手段

ピエゾアクチュエータと変位拡大機構による大きな稼働範囲

Displacement Magnification Method デジタルセンサ

高精度のアナログアンプやAD変換回路を必要としないデジタルセンサによるクローズドループ制御が可能

SFS-H内部構造図 SFS-H内部構造図

シグマファインステージの使用環境

ファインステージは、使用環境温度範囲内でご使用ください。
使用環境温度範囲外でご使用を検討する際には、営業までお問合せください。

*使用環境 *推奨環境
温度:10℃ ~ 30℃ 温度:20℃ ± 1℃
湿度:20%~60%(非結露) 湿度:40%以下

SFS/SFS-Hステージシリーズに使用しております圧電素子は、湿度が高い環境では耐久性が劣化しますので、 上記環境下にてご使用ください。

シグマファインシステム系統図

Sigma Fine System Chart

精度測定例 : シグマファインステージシステム SFS-H(直動ステージ)

高速度収斂データ High Speed Convergence Data

0⇔75µm繰返し周波数(16Hz)
クローズド制御時
by SFS-H60X at 150g load

0⇒1µmステップ収斂データ(15msec)
クローズド制御時
by SFS-H60X at 150g load

移動量 Travel

オープン制御時の移動量で、ピエゾアクチュエータ特有のヒステリシスカーブを示します。

リニアリティ Linearity

0⇔80µmリニアリティ 0.3%以内
クローズド制御時
by SFS-H60X at 150g load

繰返し位置決め精度 Positional Repeatability

0⇔80µm繰返し位置決め精度 50nm以下
by SFS-H60X at 150g load

微小送り特性 Characteristics of Fine Feed

クローズド制御状態で、送り量が小さい時の特性です。オープン制御時のヒステリシスがなくなります。

真直度 Straightness

進行方向に対する傾きを示します。

ピッチング Pitch

進行方向に対する前後の傾きを 示します。

ヨーイング特性 Characteristics of Yaw

進行方向に対する左右の振れを 示します。

アナログ入力に対する追従性例 : SFS-H(直動ステージ) ※FINE-01γで制御した場合 

高速度収斂データ 入力波形:紺色/出力動作波形:水色 High Speed Convergence Data

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