自動ステージ

基準位置より、移動量のほぼ全域にわたって一方向に一定間隔で順次位置決めを行います。
それぞれの位置決め地点での実測値と目標値の差を求め、その最大及び最小の差を位置決め精度とします。

ステージの任意の位置に対して、同方向から複数回位置決めを行い、停止位置のズレ幅の最大値を求めます。
そのうちの最大値を繰返し位置決め精度とします。

ステージの任意の位置（両端・中心等）に対して、正方向及び負方向へ複数回位置決めを行い、停止位置のズレ幅の平均値を求めます。
そのうちの最大値をロストモーションとします。

ステージの任意の位置において、正方向及び負方向へ一定荷重をかけます。 その際の各方向へのズレ量の合計をバックラッシとします。

回転ステージを1回転させた時の、回転テーブルと取付ベース面との高さ方向の変位量の最大値を表します。

回転ステージを1回転させた時の、理想の回転中心と実際の回転中心の差を同心度と表します。

単位モーメント荷重をかけた時の、ステージの姿勢変位量を表します

ステージ上のテーブルを固定した状態における、ベース面との平行状態を表します。