自動ステージ

基準位置より、移動量のほぼ全域にわたって一方向に一定間隔で順次位置決めを行います。 それぞれの位置決め地点での実測値と目標値の差を求め、その最大及び最小の差を位置決め精度とします。

ステージの任意の位置（両端・中心等）に対して、同方向から複数回位置決めを行い停止位置のズレ幅の最大値を求めます。 その数値の最大値を繰返し位置決め精度とします。

ステージの任意の位置（両端・中心等）に対して、正方向及び負方向へ複数回位置決めを行い停止位置のズレ幅の平均値を求めます。 その数値の最大値をロストモーションとします。

ステージの任意の位置（両端・中心等）において正方向または負方向へ一定荷重をかけます。 その際の各方向へのズレ量の合計をバックラッシとします。

フルストローク間における、ステージ動作中のテーブルの上下方向の変位量を走り平行度とします。

XY軸ステージのX軸を基準とし、その時のY軸の動作変位を直角スコヤにて測定します。 その変位量を運動の直交度とします。

Z軸ステージ上にダイヤルゲージを設置し、垂直定盤との変位量の測定を行います。 その変位量を運動の垂直度とします

ステージ動作中におけるピッチング方向の テーブル面の角度変位量。
フルストローク動作時の最大角度変位量を表します。

ステージ上のテーブルを固定した状態における設置基準面との平行状態を表します。

ステージ動作中におけるヨーイング方向の テーブル面の角度変位量。
フルストローク動作時の最大角度変位量を表します。