自動ステージ
ガイダンス
ゴニオステージ精度測定
位置精度
ステージの任意の位置に対して、同方向から複数回位置決めを行い、停止位置のズレ幅の最大値を求めます。 そのうちの最大値を繰返し位置決め精度とします。。
理想の回転中心から上面テーブルまでの距離を表します。
ゴニオステージをフルストローク動作させた時の理想の回転中心位置からの最大振れ範囲を表します。。
ステージの任意の位置(両端・中心等)に対して、正方向及び負方向へ複数回位置決めを行い、停止位置のズレ幅の平均値を求めます。
そのうちの最大値をロストモーションとします。
姿勢精度
単位モーメント荷重をかけた時の、ステージの姿勢変位量を表します。
最小応答分解能(MIM)
ステージの任意の位置(両端・中心の3か所)にて微小な位置決めを行い応答する分解能を最小応答分解能とします。
検証方法としては各位置にてステージプラス方向(CCW方向)に10ポイント、ステージマイナス方向(CW方向)に10ポイント微小位置決めを行い、応答性を確認します。
検証には、直動ステージの場合:静電容量センサ、
回転系ステージの場合:オートコリメータを使用して微小な応答を確認します。