自動ステージ
ガイダンス
リニアスケール内蔵自動ステージシステムガイダンス
高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御する フルクローズドループ制御システムです。
- リニアエンコーダ信号のフィードバックとマイクロステップ駆動により、送りネジ機構特有のリード誤差を 最小限に抑えることができます。
- 線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した 信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
- GS/CSシリーズは、サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる 再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。
フルクローズド制御システム（イメージ図）
システム系統図
