手動ステージ
ガイダンス
ステンレスステージ真空度測定データ
真空仕様手動ステージから放出されるガス量を計測しました。
ガスの分析によるとガスの主成分は、水と炭化水素です。これはステージ表面に付着した水分と、駆動用潤滑剤として使用しているグリースの一部が気化したと推測されます。
放出ガス量
| 品番 | 放出ガス量Q（40分排気後） | |
| （Torr·ℓ/s/unit） | （Pa·ℓ/s/unit） | |
| TSDS-602S | 3.57×10－5 | 4.76×10－3 |
| TSDS-603 | 1.65×10－5 | 2.20×10－3 |
評価、装置の仕様
排気装置 ：
ターボ分子ポンプ STP-301
セイユー精機（株）（現：エドワーズ（株）製）
排気速度：300ℓ/sec
質量分析装置 ：
四重極質量分析器 QME200
PFEIFFER社製
マストレンジ：1～200amu
真空チャンバーの到達真空度
質量成分比
マスピークの解釈
残留ガスにおいてマスピーク（マス・スペクトル）を測定した時に、各質量数に出現するピークがどういったガスなのか、その主なものの一覧表及びその解釈について記載します。
残留ガススペクトルの一覧表
