手動ステージ

ガイダンス

直動ステージガイド

X・Y・Z方向(3次元面内)の位置決めに 使用するステージです。

光学実験などの研究開発から装置組込みまで、幅広い用途にご利用頂けます。

ガイド構造について

ガイド構造について
クロスローラガイド
クロスローラガイド

ローラとV溝レールによる線接触のため、高い剛性が得られます。また、差動滑りがほとんどなく低摩擦で微小送りに優れています。

特 徴

クロスローラガイドを使用しているため高精度で剛性が高い本体部にアルミを使用しているため軽量

アリ溝方式
アリ溝方式

アリ溝方式を採用した、面摺動の案内機構となっています。 摩擦係数が高いために、微細な位置決めには不向きですが、簡単な位置決めを行う時には非常に有効的なステージです。

特 徴

ガイド構造が単純なため、低価格設定ガイド部が面接触なため、高安定コンパクト設計により装置組込みや狭スペースでの固定に最適

ボールガイド方式(TSD・TSDH・TSDT・TSDSシリーズ)

シグマ光機独自の加工技術を基に開発された製品です。

特 長
  1. 高精度
  2. 高耐荷重
  3. 高剛性
  4. 高耐久性
  5. 薄型
高耐荷重、高剛性

4列接触構造により高耐荷重と高剛性を実現 (V溝に比べ13倍の剛性)

図-1で示すように、ボールガイドは円弧に沿った加工を施すことでR溝となっているため、ボールとの接触がよくあらゆる方向の荷重に対し、安定した負荷能力があります。

高耐久性

長寿命でメンテナンスフリー

図-2で示す内容は、R溝と平面における圧力分布を示すものとなっています。
図のようにR溝にかかる圧力は分散し内部までかかっていません。これにより金属の疲労や摩耗を軽減しています。

高耐久性
高精度

一体(同時)加工により、高精度を実現(真直度 : 0.7µm以下)

図-3に示す上板と下板を独自に考案した加工治具により一体とし同時加工することで、それぞれの加工誤差を最小限に抑えています。
つまり、ボールを入れた状態とほぼ同じ状態で加工することで高精度を保っています。

高精度
薄 型

部品点数の削減により薄型が可能

図-4は、クロスローラステージとボールガイドステージの厚さを比較したものです。
ボールガイドステージは、上板、下板各々のプレートとガイド部分が一体化することにより、薄型化を実現しました。

薄 型

更にTSDTシリーズでは、 ステージ厚 : 10mmを実現しました。

更にTSDTシリーズでは

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