干渉計
ガイダンス
干渉計特徴
人の感覚では認識できない1µm以下の動的現象を観察する場合、干渉計が良く使われます。
例えば、光学素子の面精度計測、距離や移動量の精密測定に用いる測長器、速度計や振動計と言った高速で微小な変化を測定できる装置など、これらの基本原理は全て光の干渉が使われています。
干渉計の特徴
- 分解能1µm以下
- 非接触（非破壊）計測
- 広範囲（2次元）計測
干渉計を応用した装置
- 面精度測定
- 測長器
- 速度計・振動計
干渉計は分解能が高いのですが、光学系単独では計測できるレンジはあまり広くありません。これは、波の周期性によって、整数倍の位相の識別が困難になるためです。
市販されている大部分の干渉計測装置は、光学系（干渉計）と干渉信号の解析装置で構成されています。
解析装置に高度な電子機器を使用することで、高い分解能と広い測定レンジの両方を兼ね合わせた測定が可能になります。
本章でご紹介する干渉計は、干渉信号の解析装置がついていない光学系部だけです。このため、観察できる範囲は非常に限られてしまいます。しかし、干渉計測の基礎実験や理論検証であれば、十分目的を果たせます。
干渉は干渉計測に留まらず、数多くの分野で、実用的な用途に利用されています。これらの分野では基礎実験装置としてもご利用いただくことができます。
- ヘテロダイン干渉
- レーザジャイロ
- オプティカルコヒーレンストモグラフィー（OCT）
- 時間分解干渉法
- ホログラフィー
