サブミクロンフィードバックステージ

FS-X

サブミクロンフィードバックステージ
在庫あり
SKU
FS-X
サブミクロンの分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、7種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。
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名前 Stage Size 出荷 価格 カートに追加
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サブミクロンフィードバックステージシステム
FS-1100X
120×120mm
2-6 weeks
-
移動量 100mm
テーブル面サイズ 120×120mm
移動ガイド LMガイド
送りネジ ボールねじ径φ6mm、リード1mm
駆動モータタイプ □28mm 5相ステッピングモータ
質量 2.1㎏
最小分解能※1 FC-411使用の場合 50nm
最小分解能※1 FC-414使用の場合
繰返し位置決め精度※1 FC-411使用の場合 ±100nm
繰返し位置決め精度※1 FC-414使用の場合
耐荷重 98N(10kgf)
走り平行度 10μm
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
センサ スローダウンセンサ
センサ 原点センサ 
センサ 近接原点センサ
信号周期 4μm
スケールケーブル※ 2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 
適応コントローラ FC-411: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
FC-414: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
適応ケーブル PM-CA: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
PM4N-CA*SD: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
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サブミクロンフィードバックステージシステム
FS-3300X
160×160mm
2-6 weeks
-
移動量 300mm
テーブル面サイズ 160×160mm
移動ガイド LMガイド
送りネジ ボールねじ径φ14mm、リード5mm
駆動モータタイプ □42mm 5相ステッピングモータ
質量 8.5㎏
最小分解能※1 FC-411使用の場合
最小分解能※1 FC-414使用の場合 50nm
繰返し位置決め精度※1 FC-411使用の場合
繰返し位置決め精度※1 FC-414使用の場合 ±100nm
耐荷重 196N(20kgf)
走り平行度※2(移動量100mmあたり) 10μm
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
センサ スローダウンセンサ
センサ 原点センサ 
センサ 近接原点センサ
信号周期 4μm
スケールケーブル※ 2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 
適応コントローラ FC-411: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
FC-414: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
適応ケーブル PM-CA: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
PM4N-CA*SD: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
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サブミクロンフィードバックステージシステム
FS-1020X
60×60mm
2-6 weeks
-
移動量 20mm
テーブル面サイズ 60×60mm
移動ガイド クロスローラガイド
送りネジ ボールねじ径φ4mm、リード1mm
駆動モータタイプ □28mm 5相ステッピングモータ
質量 0.5㎏
最小分解能※1 FC-411使用の場合 50nm
最小分解能※1 FC-414使用の場合
繰返し位置決め精度※1 FC-411使用の場合 ±100nm
繰返し位置決め精度※1 FC-414使用の場合
耐荷重 49N(5kgf)
走り平行度 10μm
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
センサ スローダウンセンサ
センサ 原点センサ 
センサ 近接原点センサ
信号周期 4μm
スケールケーブル※ 2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 
適応コントローラ FC-411: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
FC-414: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
適応ケーブル PM-CA: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
PM4N-CA*SD: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
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サブミクロンフィードバックステージシステム
FS-3150X
120×170mm
2-6 weeks
-
移動量 150mm
テーブル面サイズ 120×170mm
移動ガイド LMガイド
送りネジ ボールねじ径φ8mm、リード1mm
駆動モータタイプ □28mm 5相ステッピングモータ
質量 2.8㎏
最小分解能※1 FC-411使用の場合 50nm
最小分解能※1 FC-414使用の場合
繰返し位置決め精度※1 FC-411使用の場合 ±100nm
繰返し位置決め精度※1 FC-414使用の場合
耐荷重 98N(10kgf)
走り平行度※2(移動量100mmあたり) 10μm
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
センサ スローダウンセンサ
センサ 原点センサ 
センサ 近接原点センサ
信号周期 4μm
スケールケーブル※ 2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 
適応コントローラ FC-411: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
FC-414: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
適応ケーブル PM-CA: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
PM4N-CA*SD: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
i
サブミクロンフィードバックステージシステム
FS-3400X
160×160mm
2-6 weeks
-
移動量 400mm
テーブル面サイズ 160×160mm
移動ガイド LMガイド
送りネジ ボールねじ径φ14mm、リード5mm
駆動モータタイプ □42mm 5相ステッピングモータ
質量 9.5㎏
最小分解能※1 FC-411使用の場合
最小分解能※1 FC-414使用の場合 50nm
繰返し位置決め精度※1 FC-411使用の場合
繰返し位置決め精度※1 FC-414使用の場合 ±100nm
耐荷重 196N(20kgf)
走り平行度※2(移動量100mmあたり) 10μm
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
センサ スローダウンセンサ
センサ 原点センサ 
センサ 近接原点センサ
信号周期 4μm
スケールケーブル※ 2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 
適応コントローラ FC-411: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
FC-414: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
適応ケーブル PM-CA: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
PM4N-CA*SD: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
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サブミクロンフィードバックステージシステム
FS-1050X
120×120mm
2-6 weeks
-
移動量 50mm
テーブル面サイズ 120×120mm
移動ガイド クロスローラガイド
送りネジ ボールねじ径φ6mm、リード1mm
駆動モータタイプ □28mm 5相ステッピングモータ
質量 1.6㎏
最小分解能※1 FC-411使用の場合 50nm
最小分解能※1 FC-414使用の場合
繰返し位置決め精度※1 FC-411使用の場合 ±100nm
繰返し位置決め精度※1 FC-414使用の場合
耐荷重 98N(10kgf)
走り平行度 10μm
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
センサ スローダウンセンサ
センサ 原点センサ 
センサ 近接原点センサ
信号周期 4μm
スケールケーブル※ 2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 
適応コントローラ FC-411: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
FC-414: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
適応ケーブル PM-CA: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
PM4N-CA*SD: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
i
サブミクロンフィードバックステージシステム
FS-3200X
160×230mm
2-6 weeks
-
移動量 200mm
テーブル面サイズ 160×230mm
移動ガイド LMガイド
送りネジ ボールねじ径φ10mm、リード2mm
駆動モータタイプ □28mm 5相ステッピングモータ
質量 5㎏
最小分解能※1 FC-411使用の場合
最小分解能※1 FC-414使用の場合 50nm
繰返し位置決め精度※1 FC-411使用の場合
繰返し位置決め精度※1 FC-414使用の場合 ±100nm
耐荷重 196N(20kgf)
走り平行度※2(移動量100mmあたり) 10μm
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
センサ スローダウンセンサ
センサ 原点センサ 
センサ 近接原点センサ
信号周期 4μm
スケールケーブル※ 2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 
適応コントローラ FC-411: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
FC-414: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X
適応ケーブル PM-CA: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X
PM4N-CA*SD: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X

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