コンパクトスケール内蔵自動ステージ

OSMS(CS)-X

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OSMS(CS)-X

専用ステージコントローラ（SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S）を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。

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Guide ▶モータ交換、落下防止機能等をご希望される場合は、営業までお問合せください。WEB参照/カタログコードW9500（お問合せシート）
▶グリース変更（WEB参照/カタログコードW9006）はオプションで対応可能です。
▶XY軸又はZ軸でご使用する場合には、営業までご相談ください

名前 Travel Load Capacity 出荷価格カートに追加

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)20-85(X)-M6

85mm

78.4N (8.0kg)

in stock

￥178,000.00

移動量	85mm
テーブル面サイズ	85×85mm
送りネジ	ボールネジ径φ6mm、リード1mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	1.6kg
分解能（Full）	2μm/パルス
分解能（Half）	1μm/パルス
MAXスピード	25mm/sec
位置決め精度	10μm
繰返し位置決め精度	2μm
耐荷重	78.4N（8.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.4″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.25″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.35″/N･cm
ロストモーション	3μm
バックラッシ	3μm
平行度	30μm
走り平行度	10μm
ピッチング	30″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機㈱）
モータ　　品番	TS3664N4E10 （□24mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	OSMS（CS）20-35：60mA以下（1センサあたり20mA以下） OSMS（CS）20-85：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 50mA
ドライバケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)26-100(X)-M6

100mm

117N (12.0kg)

in stock

￥208,000.00

移動量	100mm
テーブル面サイズ	120×120mm
送りネジ	ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	3.2kg
分解能（Full）	4μm/パルス
分解能（Half）	2μm/パルス
MAXスピード	40mm/sec
位置決め精度	10μm
繰返し位置決め精度	3μm
耐荷重	117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.2″/N･cm
ロストモーション	3μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	10μm
ピッチング	25″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 50mA
ドライブケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸
スケール付	有

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)26-200(X)-M6

200mm

117N (12.0kg)

2-6 weeks

￥228,000.00

移動量	200mm
テーブル面サイズ	120×120mm
送りネジ	ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	4.3kg
分解能（Full）	4μm/パルス
分解能（Half）	2μm/パルス
MAXスピード	40mm/sec
位置決め精度	15μm
繰返し位置決め精度	3μm
耐荷重	117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.2″/N･cm
ロストモーション	5μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	10μm
ピッチング	30″
ヨーイング	25″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 50mA
ドライブケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸
スケール付	有

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)33-300(X)-M6

300mm

196N (20.0kg)

2-6 weeks

￥398,000.00

移動量	300mm
テーブル面サイズ	120×120mm
送りネジ	ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	7.8kg
分解能（Full）	20μm/パルス
分解能（Half）	10μm/パルス
MAXスピード	100mm/sec
位置決め精度	25μm
繰返し位置決め精度	5μm
耐荷重	196N（20.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.1″/N･cm
ロストモーション	5μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	10μm
ピッチング	25″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL CLOSE）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機㈱）
モータ　　品番	TS3667N43E967（□42mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 100mA
ドライブケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸
スケール付	有

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)33-500(X)-M6

500mm

196N (20.0kg)

in stock

￥438,000.00

移動量	500mm
テーブル面サイズ	120×120mm
送りネジ	ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	9.6kg
分解能（Full）	20μm/パルス
分解能（Half）	10μm/パルス
MAXスピード	100mm/sec
位置決め精度	25μm
繰返し位置決め精度	5μm
耐荷重	196N（20.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.1″/N･cm
ロストモーション	5μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	10μm
ピッチング	30″
ヨーイング	25″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL CLOSE）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機㈱）
モータ　　品番	TS3667N43E967（□42mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 100mA
ドライブケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸
スケール付	有

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)20-35(X)-INCH

±35mm

78.4N (8.0kg)

2-6 weeks

￥168,000.00

移動量	35mm
テーブル面サイズ	85×85mm
送りネジ	ボールネジ径φ6mm、リード1mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	1.4kg
分解能（Full）	2μm/パルス
分解能（Half）	1μm/パルス
MAXスピード	25mm/sec
位置決め精度	5μm
繰返し位置決め精度	2μm
耐荷重	78.4N（8.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.4″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.25″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.25″/N･cm
ロストモーション	3μm
バックラッシ	3μm
平行度	30μm
走り平行度	10μm
ピッチング	30″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S097HCZ0F（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	無
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機㈱）
モータ　　品番	TS3664N4E10 （□24mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	OSMS（CS）20-35：60mA以下（1センサあたり20mA以下） OSMS（CS）20-85：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 50mA
ドライバケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)20-85(X)-INCH

85mm

78.4N (8.0kg)

2-6 weeks

￥178,000.00

移動量	85mm
テーブル面サイズ	85×85mm
送りネジ	ボールネジ径φ6mm、リード1mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	1.6kg
分解能（Full）	2μm/パルス
分解能（Half）	1μm/パルス
MAXスピード	25mm/sec
位置決め精度	10μm
繰返し位置決め精度	2μm
耐荷重	78.4N（8.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.4″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.25″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.35″/N･cm
ロストモーション	3μm
バックラッシ	3μm
平行度	30μm
走り平行度	10μm
ピッチング	30″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機㈱）
モータ　　品番	TS3664N4E10 （□24mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	OSMS（CS）20-35：60mA以下（1センサあたり20mA以下） OSMS（CS）20-85：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 50mA
ドライバケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)26-100(X)-INCH

100mm

117N (12.0kg)

2-6 weeks

￥208,000.00

移動量	100mm
テーブル面サイズ	120×120mm
送りネジ	ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	3.2kg
分解能（Full）	4μm/パルス
分解能（Half）	2μm/パルス
MAXスピード	40mm/sec
位置決め精度	10μm
繰返し位置決め精度	3μm
耐荷重	117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.2″/N･cm
ロストモーション	3μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	10μm
ピッチング	25″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 50mA
ドライブケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸
スケール付	有

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)26-200(X)-INCH

200mm

117N (12.0kg)

in stock

￥228,000.00

移動量	200mm
テーブル面サイズ	120×120mm
送りネジ	ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	4.3kg
分解能（Full）	4μm/パルス
分解能（Half）	2μm/パルス
MAXスピード	40mm/sec
位置決め精度	15μm
繰返し位置決め精度	3μm
耐荷重	117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.2″/N･cm
ロストモーション	5μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	10μm
ピッチング	30″
ヨーイング	25″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 50mA
ドライブケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸
スケール付	有

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)33-300(X)-INCH

300mm

196N (20.0kg)

2-6 weeks

￥398,000.00

移動量	300mm
テーブル面サイズ	120×120mm
送りネジ	ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	7.8kg
分解能（Full）	20μm/パルス
分解能（Half）	10μm/パルス
MAXスピード	100mm/sec
位置決め精度	25μm
繰返し位置決め精度	5μm
耐荷重	196N（20.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.1″/N･cm
ロストモーション	5μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	10μm
ピッチング	40″
ヨーイング	25″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL CLOSE）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機㈱）
モータ　　品番	TS3667N43E967（□42mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 100mA
ドライブケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸
スケール付	有

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)33-500(X)-INCH

500mm

196N (20.0kg)

2-6 weeks

￥438,000.00

移動量	500mm
テーブル面サイズ	120×120mm
送りネジ	ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	9.6kg
分解能（Full）	20μm/パルス
分解能（Half）	10μm/パルス
MAXスピード	100mm/sec
位置決め精度	25μm
繰返し位置決め精度	5μm
耐荷重	196N（20.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.1″/N･cm
ロストモーション	5μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	10μm
ピッチング	30″
ヨーイング	25″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL CLOSE）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機㈱）
モータ　　品番	TS3667N43E967（□42mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 100mA
ドライブケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸
スケール付	有

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)20-35(X)

±35mm

78.4N (8.0kg)

in stock

￥168,000.00

移動量	35mm
テーブル面サイズ	85×85mm
送りネジ	ボールネジ径φ6mm、リード1mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	1.4kg
分解能（Full）	2μm/パルス
分解能（Half）	1μm/パルス
MAXスピード	25mm/sec
位置決め精度	5μm
繰返し位置決め精度	2μm
耐荷重	78.4N（8.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.4″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.25″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.25″/N･cm
ロストモーション	3μm
バックラッシ	3μm
平行度	30μm
走り平行度	10μm
ピッチング	30″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S097HCZ0F（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	無
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機㈱）
モータ　　品番	TS3664N4E10 （□24mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	OSMS（CS）20-35：60mA以下（1センサあたり20mA以下） OSMS（CS）20-85：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 50mA
ドライバケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)20-85(X)

85mm

78.4N (8.0kg)

2-6 weeks

￥178,000.00

移動量	85mm
テーブル面サイズ	85×85mm
送りネジ	ボールネジ径φ6mm、リード1mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	1.6kg
分解能（Full）	2μm/パルス
分解能（Half）	1μm/パルス
MAXスピード	25mm/sec
位置決め精度	10μm
繰返し位置決め精度	2μm
耐荷重	78.4N（8.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.4″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.25″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.35″/N･cm
ロストモーション	3μm
バックラッシ	3μm
平行度	30μm
走り平行度	10μm
ピッチング	30″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機㈱）
モータ　　品番	TS3664N4E10 （□24mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	OSMS（CS）20-35：60mA以下（1センサあたり20mA以下） OSMS（CS）20-85：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 50mA
ドライバケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)26-100(X)

100mm

117N (12.0kg)

in stock

￥208,000.00

移動量	100mm
テーブル面サイズ	100×100mm
送りネジ	ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	3.2kg
分解能（Full）	4μm/パルス
分解能（Half）	2μm/パルス
MAXスピード	40mm/sec
位置決め精度	10μm
繰返し位置決め精度	3μm
耐荷重	117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.2″/N･cm
ロストモーション	3μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	10μm
ピッチング	25″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 50mA
ドライブケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸
スケール付	有

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)26-200(X)

200mm

117N (12.0kg)

2-6 weeks

￥228,000.00

移動量	200mm
テーブル面サイズ	100×100mm
送りネジ	ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	4.3kg
分解能（Full）	4μm/パルス
分解能（Half）	2μm/パルス
MAXスピード	40mm/sec
位置決め精度	15μm
繰返し位置決め精度	3μm
耐荷重	117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.2″/N･cm
ロストモーション	5μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	10μm
ピッチング	30″
ヨーイング	25″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 50mA
ドライブケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸
スケール付	有

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)33-300(X)

300mm

196N (20.0kg)

in stock

￥398,000.00

移動量	300mm
テーブル面サイズ	120×120mm
送りネジ	ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	7.8kg
分解能（Full）	20μm/パルス
分解能（Half）	10μm/パルス
MAXスピード	100mm/sec
位置決め精度	25μm
繰返し位置決め精度	5μm
耐荷重	196N（20.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.1″/N･cm
ロストモーション	5μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	10μm
ピッチング	25″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL CLOSE）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機㈱）
モータ　　品番	TS3667N43E967（□42mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 100mA
ドライブケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸
スケール付	有

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)33-500(X)

500mm

196N (20.0kg)

in stock

￥438,000.00

移動量	500mm
テーブル面サイズ	120×120mm
送りネジ	ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	9.6kg
分解能（Full）	20μm/パルス
分解能（Half）	10μm/パルス
MAXスピード	100mm/sec
位置決め精度	25μm
繰返し位置決め精度	5μm
耐荷重	196N（20.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.1″/N･cm
ロストモーション	5μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	10μm
ピッチング	30″
ヨーイング	25″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL CLOSE）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機㈱）
モータ　　品番	TS3667N43E967（□42mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 100mA
ドライブケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸
スケール付	有

コンパクトスケール内蔵自動ステージ
OSMS(CS)20-35(X)-M6

±35mm

78.4N (8.0kg)

in stock

￥168,000.00

移動量	35mm
テーブル面サイズ	85×85mm
送りネジ	ボールネジ径φ6mm、リード1mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	1.4kg
分解能（Full）	2μm/パルス
分解能（Half）	1μm/パルス
MAXスピード	25mm/sec
位置決め精度	5μm
繰返し位置決め精度	2μm
耐荷重	78.4N（8.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.4″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.25″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.25″/N･cm
ロストモーション	3μm
バックラッシ	3μm
平行度	30μm
走り平行度	10μm
ピッチング	30″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S097HCZ0F（シャープ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	無
スケールヘッド	0.5μm
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機㈱）
モータ　　品番	TS3664N4E10 （□24mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	OSMS（CS）20-35：60mA以下（1センサあたり20mA以下） OSMS（CS）20-85：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
電源電圧/消費電流	DC5V±5％ / 50mA
ドライバケーブル	D15D15A-CA
スケールケーブル	GSEF-CA-3
適応ドライバ	－
適応コントローラ	SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
軸タイプ	X軸

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◦モーメント荷重や複合荷重に強い構造は、ピッチング、ローリング、ヨーイングの影響を受けにくく、高剛性、高精度での位置決めが可能です。
◦コンパクトスケールを内蔵していますが、同移動量の場合OSMSシリーズと設置スペースは変わりません。