面精度保証ミラー

HTFM

面精度保証ミラー
在庫あり
SKU
HTFM
基板の材質や厚さとコーティングの条件を最適化することで、高面精度のミラーを実現しました。
コーティング後の面精度λ/10を保証しています。
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注意 ▶面精度保証データは製品には添付されません。面精度保証データの書面が必要な場合は別途データ作成費用がかかります。営業までお問合せください。
▶誘電体多層膜は入射ビームの偏光状態により反射率波長特性が変わります。P偏光はS偏光に比べて反射率が低く、反射帯域も狭くなります。
▶仕様の反射率は、P偏光とS偏光の反射率の平均値で表しています。
▶入射角度45°以外で使用した場合、反射率が低くなる可能性があります。
▶適応波長以外の波長で使用した場合、反射率が低くなる可能性があります。

Guide ▶ホルダーにミラーを接着し、面精度を保証したHTFM-MHGも用意しています。(WEB参照/カタログコードW3003)
▶カタログ掲載以外のサイズや波長特性のミラーの製作も承ります。お問合せシートをご利用ください。WEB参照/カタログコードW3800

名前 Design wavelength Diameter φD Reflectance 出荷 価格 カートに追加
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面精度保証ミラー
HTFM-25.4C08-248
248nm 25.4mm >99.2%
2-6 weeks
¥40,500.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 248nm
外径 φD φ25.4mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.2%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-50.8C11-248
248nm 50.8mm >99.2%
2-6 weeks
¥62,100.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 248nm
外径 φD φ50.8mm
厚さ t 11mm
反射率 >99.2%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-30C08-266
266nm 30mm >99.2%
2-6 weeks
¥42,300.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 266nm
外径 φD φ30mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.2%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-12.7C08-308
308nm 12.7mm >99.5%
2-6 weeks
¥36,000.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 308nm
外径 φD φ12.7mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-50C11-308
308nm 50mm >99.5%
2-6 weeks
¥62,100.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 308nm
外径 φD φ50mm
厚さ t 11mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-25.4C08-355
355nm 25.4mm >99.5%
2-6 weeks
¥40,500.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 355nm
外径 φD φ25.4mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 5J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-50.8C11-355
355nm 50.8mm >99.5%
2-6 weeks
¥62,100.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 355nm
外径 φD φ50.8mm
厚さ t 11mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 5J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-30C08-532
532nm 30mm >99.5%
2-6 weeks
¥23,400.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 532nm
外径 φD φ30mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 7J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-12.7C08-1064
1064nm 12.7mm >99.5%
2-6 weeks
¥36,000.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 1064nm
外径 φD φ12.7mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 20J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-50C11-1064
1064nm 50mm >99.5%
in stock
¥62,100.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 1064nm
外径 φD φ50mm
厚さ t 11mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 20J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-30C08-248
248nm 30mm >99.2%
in stock
¥42,300.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 248nm
外径 φD φ30mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.2%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-12.7C08-266
266nm 12.7mm >99.2%
in stock
¥36,000.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 266nm
外径 φD φ12.7mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.2%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-50C11-266
266nm 50mm >99.2%
in stock
¥62,100.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 266nm
外径 φD φ50mm
厚さ t 11mm
反射率 >99.2%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-25.4C08-308
308nm 25.4mm >99.5%
in stock
¥40,500.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 308nm
外径 φD φ25.4mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-50.8C11-308
308nm 50.8mm >99.5%
2-6 weeks
¥62,100.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 308nm
外径 φD φ50.8mm
厚さ t 11mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-30C08-355
355nm 30mm >99.5%
in stock
¥42,300.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 355nm
外径 φD φ30mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 5J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-12.7C08-532
532nm 12.7mm >99.5%
2-6 weeks
¥18,000.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 532nm
外径 φD φ12.7mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 7J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-50C11-532
532nm 50mm >99.5%
2-6 weeks
¥47,700.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 532nm
外径 φD φ50mm
厚さ t 11mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 7J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-25.4C08-1064
1064nm 25.4mm >99.5%
2-6 weeks
¥40,500.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 1064nm
外径 φD φ25.4mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 20J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-50.8C11-1064
1064nm 50.8mm >99.5%
2-6 weeks
¥62,100.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 1064nm
外径 φD φ50.8mm
厚さ t 11mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 20J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-12.7C08-248
248nm 12.7mm >99.2%
2-6 weeks
¥36,000.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 248nm
外径 φD φ12.7mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.2%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-50C11-248
248nm 50mm >99.2%
2-6 weeks
¥62,100.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 248nm
外径 φD φ50mm
厚さ t 11mm
反射率 >99.2%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-25.4C08-266
266nm 25.4mm >99.2%
in stock
¥40,500.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 266nm
外径 φD φ25.4mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.2%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-50.8C11-266
266nm 50.8mm >99.2%
2-6 weeks
¥62,100.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 266nm
外径 φD φ50.8mm
厚さ t 11mm
反射率 >99.2%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-30C08-308
308nm 30mm >99.5%
in stock
¥42,300.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 308nm
外径 φD φ30mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 2J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-12.7C08-355
355nm 12.7mm >99.5%
2-6 weeks
¥36,000.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 355nm
外径 φD φ12.7mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 5J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-50C11-355
355nm 50mm >99.5%
2-6 weeks
¥62,100.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 355nm
外径 φD φ50mm
厚さ t 11mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 5J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-25.4C08-532
532nm 25.4mm >99.5%
2-6 weeks
¥21,600.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 532nm
外径 φD φ25.4mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 7J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-50.8C11-532
532nm 50.8mm >99.5%
2-6 weeks
¥47,700.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 532nm
外径 φD φ50.8mm
厚さ t 11mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 7J/cm2
納期の目安
i
面精度保証ミラー
HTFM-30C08-1064
1064nm 30mm >99.5%
2-6 weeks
¥42,300.00
材質 合成石英
コーティング 誘電体多層膜
入射角度 45°±3°
コート後面精度 λ/10
平行度 <3′
スクラッチ-ディグ 10−5
有効径 外径の80%
適応波長 1064nm
外径 φD φ30mm
厚さ t 8mm
反射率 >99.5%
レーザ耐力<sup>※</sup> 20J/cm2
納期の目安

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◦従来品の誘多膜平面ミラー(TFM)より、高い面精度(コート後)が得られています。
◦基板に合成石英を用い、基板の厚さを厚くすることで、基板の剛性が高くなっています。
◦紫外レーザやYAGレーザの各波長に対応した高反射率のミラーをラインナップしています。

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