真空仕様自動ステージ
VSGSP26-200(X)
真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。
| 名前 | 真空仕様自動ステージ |
|---|---|
| 質量 | 2.5000kgs |
| Guide | ▶モータケーブルとセンサケーブルは、バラ線1ｍとなっています。 |
| Image Label | Motorized Single Axis Stage Series 26 Travel 200mm for Vacuum |
| Travel | 200mm |
| Load Capacity | 58.8N (6.0kg) |
| 移動量 | 200mm |
| テーブル面サイズ | 80×80mm |
| 送りネジ | 精密研削ネジφ8mm、 リード2mm |
| 移動ガイド | アウターレール構造 |
| ステージ材質 | アルミ・ステンレス |
| 表面処理 | 無 |
| 分解能/(Ｆull) | 4μm/パルス |
| 分解能/(Half) | 2μm/パルス |
| 最小応答分解能(参考) | 0.2μm |
| MAXスピード | 20mm/sec |
| 繰返し位置決め精度 | 10μm |
| 耐荷重 | 58.8N(6.0kgf) |
| ロストモーション | 10μm |
| センサ品番 | GN-PT5M3B-1(㈱メトロール) |
| リミットセンサ | 真空タッチセンサ(NORMAL CLOSE) |
| 原点センサ | 無 |
| 近接原点センサ | 無 |
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