真空仕様自動ステージ
VSGSP20-85(X)
真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。
名前 | 真空仕様自動ステージ |
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質量 | 1.1000kgs |
Guide | ▶モータケーブルとセンサケーブルは、バラ線1mとなっています。 |
Image Label | Motorized Single Axis Stage Series 20 Travel 85mm for Vacuum |
Travel | 85mm |
Load Capacity | 39.2N (4.0kg) |
移動量 | 85mm |
テーブル面サイズ | 60×60mm |
送りネジ | 精密研削ネジφ6mm、 リード1mm |
移動ガイド | アウターレール構造 |
ステージ材質 | アルミ・ステンレス |
表面処理 | 無 |
分解能/(Full) | 2μm/パルス |
分解能/(Half) | 1μm/パルス |
最小応答分解能(参考) | 0.2μm |
MAXスピード | 10mm/sec |
繰返し位置決め精度 | 5μm |
耐荷重 | 39.2N(4.0kgf) |
ロストモーション | 3μm |
センサ品番 | GN-PT5M3B-1(㈱メトロール) |
リミットセンサ | 真空タッチセンサ(NORMAL CLOSE) |
原点センサ | 無 |
近接原点センサ | 無 |
在庫あり
SKU
VSGSP20-85(X)
¥760,000.00
真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。