真空仕様小型自動ステージ
VSGSP-60YAW
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真空環境に対応した自動回転ステージです。
φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
| 名前 | 真空仕様小型自動ステージ |
|---|---|
| 質量 | 0.4500kgs |
| Guide | ▶真空モータ部、真空リミットスイッチ部からチャンバのコネクタ部へ直接接続するために1mのテフロンコーティングケーブルが付いています。 |
| Image Label | Motorized Rotation Stage 60mm Size for Vacuum |
| Rotation Range | CW、CCW方向∞ |
| Load Capacity | 29.4N (3.0kg) |
| 回転範囲 | CW、CCW方向∞ |
| テーブル面サイズ | φ60mm |
| 移動機構 | ウォーム ウォームホイール |
| 移動ガイド | ベアリング方式 |
| ステージ材質 | アルミ |
| 表面処理 | 無 |
| 分解能/(Ｆull) | 0.005°/パルス |
| 分解能(Half) | 0.0025°/パルス |
| 最小応答分解能(参考) | 0.5mdeg |
| MAXスピード | 20°/sec |
| 繰返し位置決め精度 | 0.02° |
| 耐荷重 | 29.4N(3.0kgf) |
| ロストモーション | 0.05° |
| センサ種類 | 無 |
| リミットセンサ | 無 |
| 原点センサ | 無 |
| 近接原点センサ | 無 |
在庫あり
SKU
VSGSP-60YAW
￥480,000.00
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真空環境に対応した自動回転ステージです。
φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
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