真空仕様自動ステージ
VSGSP-120YAW
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真空環境に対応した自動回転ステージです。
φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。
φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。
| 名前 | 真空仕様自動ステージ |
|---|---|
| 質量 | 1.7000kgs |
| Guide | ▶真空モータ部、真空リミットスイッチ部からチャンバのコネクタ部へ直接接続するために1mのテフロンコーティングケーブルが付いています。 |
| Image Label | Motorized Rotation Stage 120mm Size for Vacuum |
| Rotation Range | 反時計周りCCW方向は∞<br>時計周りCW方向は0度付近(−2.5°)で停止 |
| Load Capacity | 98N (10.0kg) |
| 回転範囲 |
反時計周りCCW方向は∞ 時計周りCW方向は0度付近(−2.5°)で停止 |
| テーブル面サイズ | φ120mm |
| 移動機構 | ウォーム ウォームホイール |
| 移動ガイド | クロスローラ |
| ステージ材質 | アルミ・ステンレス |
| 表面処理 | 無 |
| 分解能/(Ｆull) | 0.005°/パルス |
| 分解能(Half) | 0.0025°/パルス |
| 最小応答分解能(参考) | 0.5mdeg |
| MAXスピード | 20°/sec |
| 繰返し位置決め精度 | 0.02° |
| 耐荷重 | 98.0N(10.0kgf) |
| ロストモーション | 0.05° |
| センサ種類 | GN-STM35A-1(㈱メトロール) |
| リミットセンサ | 真空タッチセンサ(NORMAL OPEN) |
| 原点センサ | 無 |
| 近接原点センサ | 無 |
在庫あり
SKU
VSGSP-120YAW
￥520,000.00
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真空環境に対応した自動回転ステージです。
φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。
φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。
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