真空仕様自動ステージ

VSGSP-(X)

真空仕様自動ステージ
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VSGSP-(X)
真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。
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名前 Travel Load Capacity 出荷 価格 カートに追加
i
真空仕様自動ステージ
VSGSP20-35(X)
±35mm 39.2N (4.0kg)
2-6 weeks
¥750,000.00
移動量 35mm
テーブル面サイズ 60×60mm
送りネジ 精密研削ネジφ6mm、 リード1mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ材質 アルミ・ステンレス
表面処理
分解能/(Full) 2μm/パルス
分解能/(Half) 1μm/パルス
最小応答分解能(参考) 0.2μm
MAXスピード 10mm/sec
繰返し位置決め精度 5μm
耐荷重 39.2N(4.0kgf)
ロストモーション 3μm
センサ品番 GN-PT5M3B-1(㈱メトロール)
リミットセンサ 真空タッチセンサ(NORMAL CLOSE)
原点センサ
近接原点センサ
i
真空仕様自動ステージ
VSGSP20-85(X)
85mm 39.2N (4.0kg)
in stock
¥760,000.00
移動量 85mm
テーブル面サイズ 60×60mm
送りネジ 精密研削ネジφ6mm、 リード1mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ材質 アルミ・ステンレス
表面処理
分解能/(Full) 2μm/パルス
分解能/(Half) 1μm/パルス
最小応答分解能(参考) 0.2μm
MAXスピード 10mm/sec
繰返し位置決め精度 5μm
耐荷重 39.2N(4.0kgf)
ロストモーション 3μm
センサ品番 GN-PT5M3B-1(㈱メトロール)
リミットセンサ 真空タッチセンサ(NORMAL CLOSE)
原点センサ
近接原点センサ
i
真空仕様小型自動ステージ
VTAMM60S-20X
20mm 29.4N (3.0kg)
2-6 weeks
¥480,000.00
移動量 20mm
テーブル面サイズ 60×60mm
送りネジ 精密研削ネジφ4mm、リード0.5mm
移動ガイド クロスローラ
ステージ材質 アルミ
表面処理
分解能/(Full) 1μm/パルス
分解能(Half) 0.5μm/パルス
MAXスピード 5mm/sec
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 29.4N(3.0kgf)
ロストモーション 5μm
センサ種類 GN-PT5M3B-1((株)メトロール)
リミットセンサ 真空タッチセンサ(NORMAL CLOSE)
原点センサ
近接原点センサ
i
真空仕様自動ステージ
VSGSP26-200(X)
200mm 58.8N (6.0kg)
in stock
¥800,000.00
移動量 200mm
テーブル面サイズ 80×80mm
送りネジ 精密研削ネジφ8mm、 リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ材質 アルミ・ステンレス
表面処理
分解能/(Full) 4μm/パルス
分解能/(Half) 2μm/パルス
最小応答分解能(参考) 0.2μm
MAXスピード 20mm/sec
繰返し位置決め精度 10μm
耐荷重 58.8N(6.0kgf)
ロストモーション 10μm
センサ品番 GN-PT5M3B-1(㈱メトロール)
リミットセンサ 真空タッチセンサ(NORMAL CLOSE)
原点センサ
近接原点センサ

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◦直動系は35~200mmのロングストロークを実現し、従来のSGSPシリーズと同様でコンパクト化を実現しました。

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