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高剛性・精密型自動ステージ

OSMS-X

詳細
高剛性・精密型自動ステージ
在庫あり
SKU
OSMS-X
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
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Guide ▶モータ交換等をご希望される場合は営業までお問合せください。カタログコードW9500（お問合せシート）
▶グリース変更（カタログコードW9006）はオプションで対応可能です。
▶ご所有のX軸ステージと新規でお買い求めのX軸ステージを当社にて組付けを行う場合は別途費用がかかります。

名前 Travel Load Capacity Mounting Thread 出荷 価格 カートに追加
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS26-100(X)-INCH 		100mm 117N (12.0kg)
2-6 weeks
￥128,000.00
移動量 100mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 2.7kg
分解能（Full） 4μm/パルス
分解能（Half） 2μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 40mm/sec
位置決め精度 10μm
繰返し位置決め精度 3μm
耐荷重 117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N･cm
ロストモーション 3μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 10μm
ピッチング 25″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番 PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS26-200(X)-INCH 		200mm 117N (12.0kg)
2-6 weeks
￥148,000.00
移動量 200mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 3.8kg
分解能（Full） 4μm/パルス
分解能（Half） 2μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 40mm/sec
位置決め精度 15μm
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N･cm
ロストモーション 5μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 10μm
ピッチング 30″
ヨーイング 25″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番 PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS26-300(X)-INCH 		300mm 117N (12.0kg)
2-6 weeks
￥168,000.00
移動量 300mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 3.8kg
分解能（Full） 4μm/パルス
分解能（Half） 2μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 40mm/sec
位置決め精度 15μm
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N･cm
ロストモーション 5μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 20μm
ピッチング 30″
ヨーイング 25″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番 PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS33-300(X)-INCH 		300mm 196N (20.0kg)
2-6 weeks
￥278,000.00
移動量 300mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 7.0kg
分解能（Full） 20μm/パルス
分解能（Half） 10μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.4μm
MAXスピード 120mm/sec
位置決め精度 25μm
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 196N（20.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.1″/N･cm
ロストモーション 5μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 15μm
ピッチング 30″
ヨーイング 25″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（多摩川精機㈱）
モータ　　品番 TS3667N43E967（□42mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ MC-S0514ZU、SG-514MSC､MC-7514PCL
適応コントローラ SHOT-702､SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS33-500(X)-INCH 		500mm 196N (20.0kg)
2-6 weeks
￥298,000.00
移動量 500mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 8.6kg
分解能（Full） 20μm/パルス
分解能（Half） 10μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.4μm
MAXスピード 120mm/sec
位置決め精度 25μm
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 196N（20.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.1″/N･cm
ロストモーション 5μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 25μm
ピッチング 30″
ヨーイング 25″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（多摩川精機㈱）
モータ　　品番 TS3667N43E967（□42mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ MC-S0514ZU、SG-514MSC､MC-7514PCL
適応コントローラ SHOT-702､SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
Motorized Single Axis Stage Enclosed Ball Screw Series 33 Travel 800mm 1/4-20 Thread
OSMS33-800(X)-INCH 		800mm 196N (20.0kg) 1/4-20UNC
2-6 weeks
￥5,151.00
お問合わせ
Travel 800mm
Stage Platform Size 120x120mm
Feed Screw Ball screw diameter 10mm, 10mm lead
Positioning Slide Outer rail structure
Stage Material Aluminium
Finish Black anodized
Resolution (Full) 20um/pulse
Resolution (Half) 10um/pulse
Minimum Incremental Motion (refurence) 0.4um
MAX Speed 120mm/sec
Positioning Accuracy 25um
Positional Repeatability 6um
Load Capacity 196N(20.0kgf)
Moment Stiffness / Pitch 0.12arc-sec/N-cm
Moment Stiffness / Yaw 0.08arc-sec/N-cm
Moment Stiffness / Roll 0.1arc-sec/N-cm
Lost Motion 5um
Backlash 3um
Parallelism 50um
Running Parallelism 25um
Pitch 30arc-sec
Yaw 25arc-sec
Sensor Part Number Micro photo sensor : GP1S097HCZ0F(Sharp Corporation)
Limit Sensor Equipped (NORMAL CLOSE)
Origin Sensor Equipped (NORMAL OPEN)
Proximity Origin Sensor Equipped (NORMAL OPEN)
Motor Type 5-phase stepping motor 0.75A/phase, TS3667N43E967 (Tamagawa Seiki Co., Ltd.)
Step Angle 0.72 deg.
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS20-85(X) 		85mm 78.4N (8.0kg)
in stock
￥108,000.00
移動量 85mm
テーブル面サイズ 85×85mm
送りネジ ボールネジ径φ6mm、リード1mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 1.3kg
分解能（Full） 2μm/パルス
分解能（Half） 1μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 25mm/sec
位置決め精度 10μm
繰返し位置決め精度 3μm
耐荷重 78.4N（8.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.4″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.25″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.35″/N･cm
ロストモーション 3μm
バックラッシ 3μm
平行度 30μm
走り平行度 10μm
ピッチング 30″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（多摩川精機㈱）
モータ　　品番 TS3664N4E10 （□24mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 OSMS20-35：60mA以下（1センサあたり20mA以下）
OSMS20-85：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS26-50(X) 		50mm 117N (12.0kg)
in stock
￥118,000.00
移動量 50mm
テーブル面サイズ 100×100mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 2.2kg
分解能（Full） 4μm/パルス
分解能（Half） 2μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 40mm/sec
位置決め精度 5μm
繰返し位置決め精度 3μm
耐荷重 117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N･cm
ロストモーション 3μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 10μm
ピッチング 25″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番 PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS26-100(X) 		100mm 117N (12.0kg)
in stock
￥128,000.00
移動量 100mm
テーブル面サイズ 100×100mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 2.7kg
分解能（Full） 4μm/パルス
分解能（Half） 2μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 40mm/sec
位置決め精度 10μm
繰返し位置決め精度 3μm
耐荷重 117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N･cm
ロストモーション 3μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 10μm
ピッチング 25″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番 PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS26-200(X) 		200mm 117N (12.0kg)
2-6 weeks
￥148,000.00
移動量 200mm
テーブル面サイズ 100×100mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 3.8kg
分解能（Full） 4μm/パルス
分解能（Half） 2μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 40mm/sec
位置決め精度 15μm
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N･cm
ロストモーション 5μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 10μm
ピッチング 30″
ヨーイング 25″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番 PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS26-300(X) 		300mm 117N (12.0kg)
in stock
￥168,000.00
移動量 300mm
テーブル面サイズ 100×100mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 3.8kg
分解能（Full） 4μm/パルス
分解能（Half） 2μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 40mm/sec
位置決め精度 15μm
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N･cm
ロストモーション 5μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 20μm
ピッチング 30″
ヨーイング 25″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番 PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS33-300(X) 		300mm 196N (20.0kg)
in stock
￥278,000.00
移動量 300mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 7.0kg
分解能（Full） 20μm/パルス
分解能（Half） 10μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.4μm
MAXスピード 120mm/sec
位置決め精度 25μm
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 196N（20.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.1″/N･cm
ロストモーション 5μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 15μm
ピッチング 30″
ヨーイング 25″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（多摩川精機㈱）
モータ　　品番 TS3667N43E967（□42mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ MC-S0514ZU、SG-514MSC､MC-7514PCL
適応コントローラ SHOT-702､SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS33-500(X) 		500mm 196N (20.0kg)
in stock
￥298,000.00
移動量 500mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 8.6kg
分解能（Full） 20μm/パルス
分解能（Half） 10μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.4μm
MAXスピード 120mm/sec
位置決め精度 25μm
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 196N（20.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.1″/N･cm
ロストモーション 5μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 25μm
ピッチング 30″
ヨーイング 25″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（多摩川精機㈱）
モータ　　品番 TS3667N43E967（□42mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ MC-S0514ZU、SG-514MSC､MC-7514PCL
適応コントローラ SHOT-702､SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS20-35(X) 		35mm 78.4N (8.0kg)
2-6 weeks
￥98,000.00
移動量 35mm
テーブル面サイズ 85×85mm
送りネジ ボールネジ径φ6mm、リード1mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 1.1kg
分解能（Full） 2μm/パルス
分解能（Half） 1μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 25mm/sec
位置決め精度 5μm
繰返し位置決め精度 3μm
耐荷重 78.4N（8.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.4″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.25″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.25″/N･cm
ロストモーション 3μm
バックラッシ 3μm
平行度 30μm
走り平行度 10μm
ピッチング 30″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S097HCZ0F（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 無
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（多摩川精機㈱）
モータ　　品番 TS3664N4E10 （□24mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 OSMS20-35：60mA以下（1センサあたり20mA以下）
OSMS20-85：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS20-35(X)-M6 		35mm 78.4N (8.0kg)
in stock
￥98,000.00
移動量 35mm
テーブル面サイズ 85×85mm
送りネジ ボールネジ径φ6mm、リード1mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 1.1kg
分解能（Full） 2μm/パルス
分解能（Half） 1μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 25mm/sec
位置決め精度 5μm
繰返し位置決め精度 3μm
耐荷重 78.4N（8.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.4″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.25″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.25″/N･cm
ロストモーション 3μm
バックラッシ 3μm
平行度 30μm
走り平行度 10μm
ピッチング 30″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S097HCZ0F（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 無
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（多摩川精機㈱）
モータ　　品番 TS3664N4E10 （□24mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 OSMS20-35：60mA以下（1センサあたり20mA以下）
OSMS20-85：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS20-85(X)-M6 		85mm 78.4N (8.0kg)
2-6 weeks
￥108,000.00
移動量 85mm
テーブル面サイズ 85×85mm
送りネジ ボールネジ径φ6mm、リード1mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 1.3kg
分解能（Full） 2μm/パルス
分解能（Half） 1μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 25mm/sec
位置決め精度 10μm
繰返し位置決め精度 3μm
耐荷重 78.4N（8.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.4″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.25″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.35″/N･cm
ロストモーション 3μm
バックラッシ 3μm
平行度 30μm
走り平行度 10μm
ピッチング 30″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（多摩川精機㈱）
モータ　　品番 TS3664N4E10 （□24mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 OSMS20-35：60mA以下（1センサあたり20mA以下）
OSMS20-85：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS26-50(X)-M6 		50mm 117N (12.0kg)
in stock
￥118,000.00
移動量 50mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 2.2kg
分解能（Full） 4μm/パルス
分解能（Half） 2μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 40mm/sec
位置決め精度 5μm
繰返し位置決め精度 3μm
耐荷重 117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N･cm
ロストモーション 3μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 10μm
ピッチング 25″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番 PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS26-100(X)-M6 		100mm 117N (12.0kg)
2-6 weeks
￥128,000.00
移動量 100mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 2.7kg
分解能（Full） 4μm/パルス
分解能（Half） 2μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 40mm/sec
位置決め精度 10μm
繰返し位置決め精度 3μm
耐荷重 117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N･cm
ロストモーション 3μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 10μm
ピッチング 25″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番 PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS26-200(X)-M6 		200mm 117N (12.0kg)
in stock
￥148,000.00
移動量 200mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 3.8kg
分解能（Full） 4μm/パルス
分解能（Half） 2μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 40mm/sec
位置決め精度 15μm
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N･cm
ロストモーション 5μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 10μm
ピッチング 30″
ヨーイング 25″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番 PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS26-300(X)-M6 		300mm 117N (12.0kg)
in stock
￥168,000.00
移動量 300mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 3.8kg
分解能（Full） 4μm/パルス
分解能（Half） 2μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 40mm/sec
位置決め精度 15μm
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N･cm
ロストモーション 5μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 20μm
ピッチング 30″
ヨーイング 25″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番 PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS33-300(X)-M6 		300mm 196N (20.0kg)
in stock
￥278,000.00
移動量 300mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 7.0kg
分解能（Full） 20μm/パルス
分解能（Half） 10μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.4μm
MAXスピード 120mm/sec
位置決め精度 25μm
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 196N（20.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.1″/N･cm
ロストモーション 5μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 15μm
ピッチング 30″
ヨーイング 25″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（多摩川精機㈱）
モータ　　品番 TS3667N43E967（□42mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ MC-S0514ZU、SG-514MSC､MC-7514PCL
適応コントローラ SHOT-702､SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS33-500(X)-M6 		500mm 196N (20.0kg)
in stock
￥298,000.00
移動量 500mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 8.6kg
分解能（Full） 20μm/パルス
分解能（Half） 10μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.4μm
MAXスピード 120mm/sec
位置決め精度 25μm
繰返し位置決め精度 6μm
耐荷重 196N（20.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.1″/N･cm
ロストモーション 5μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 25μm
ピッチング 30″
ヨーイング 25″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（多摩川精機㈱）
モータ　　品番 TS3667N43E967（□42mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ MC-S0514ZU、SG-514MSC､MC-7514PCL
適応コントローラ SHOT-702､SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
Motorized Single Axis Stage Enclosed Ball Screw Series 33 Travel 800mm M6 Thread
OSMS33-800(X)-M6 		800mm 196N (20.0kg) M6
2-6 weeks
￥5,151.00
お問合わせ
Travel 800mm
Stage Platform Size 120x120mm
Feed Screw Ball screw diameter 10mm, 10mm lead
Positioning Slide Outer rail structure
Stage Material Aluminium
Finish Black anodized
Resolution (Full) 20um/pulse
Resolution (Half) 10um/pulse
Minimum Incremental Motion (refurence) 0.4um
MAX Speed 120mm/sec
Positioning Accuracy 25um
Positional Repeatability 6um
Load Capacity 196N(20.0kgf)
Moment Stiffness / Pitch 0.12arc-sec/N-cm
Moment Stiffness / Yaw 0.08arc-sec/N-cm
Moment Stiffness / Roll 0.1arc-sec/N-cm
Lost Motion 5um
Backlash 3um
Parallelism 50um
Running Parallelism 25um
Pitch 30arc-sec
Yaw 25arc-sec
Sensor Part Number Micro photo sensor : GP1S097HCZ0F(Sharp Corporation)
Limit Sensor Equipped (NORMAL CLOSE)
Origin Sensor Equipped (NORMAL OPEN)
Proximity Origin Sensor Equipped (NORMAL OPEN)
Motor Type 5-phase stepping motor 0.75A/phase, TS3667N43E967 (Tamagawa Seiki Co., Ltd.)
Step Angle 0.72 deg.
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS20-35(X)-INCH 		35mm 78.4N (8.0kg)
2-6 weeks
￥98,000.00
移動量 35mm
テーブル面サイズ 85×85mm
送りネジ ボールネジ径φ6mm、リード1mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 1.1kg
分解能（Full） 2μm/パルス
分解能（Half） 1μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 25mm/sec
位置決め精度 5μm
繰返し位置決め精度 3μm
耐荷重 78.4N（8.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.4″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.25″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.25″/N･cm
ロストモーション 3μm
バックラッシ 3μm
平行度 30μm
走り平行度 10μm
ピッチング 30″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S097HCZ0F（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 無
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（多摩川精機㈱）
モータ　　品番 TS3664N4E10 （□24mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 OSMS20-35：60mA以下（1センサあたり20mA以下）
OSMS20-85：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS20-85(X)-INCH 		85mm 78.4N (8.0kg)
2-6 weeks
￥108,000.00
移動量 85mm
テーブル面サイズ 85×85mm
送りネジ ボールネジ径φ6mm、リード1mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 1.3kg
分解能（Full） 2μm/パルス
分解能（Half） 1μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 25mm/sec
位置決め精度 10μm
繰返し位置決め精度 3μm
耐荷重 78.4N（8.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.4″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.25″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.35″/N･cm
ロストモーション 3μm
バックラッシ 3μm
平行度 30μm
走り平行度 10μm
ピッチング 30″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（多摩川精機㈱）
モータ　　品番 TS3664N4E10 （□24mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 OSMS20-35：60mA以下（1センサあたり20mA以下）
OSMS20-85：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無
i
高剛性・精密型自動ステージ
OSMS26-50(X)-INCH 		50mm 117N (12.0kg)
2-6 weeks
￥118,000.00
移動量 50mm
テーブル面サイズ 120×120mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイド アウターレール構造
ステージ上面材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
質量 2.2kg
分解能（Full） 4μm/パルス
分解能（Half） 2μm/パルス
最小応答分解能（参考） 0.2μm
MAXスピード 40mm/sec
位置決め精度 5μm
繰返し位置決め精度 3μm
耐荷重 117N（12.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング 0.23″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.12″/N･cm
モーメント剛性/ローリング 0.2″/N･cm
ロストモーション 3μm
バックラッシ 3μm
平行度 50μm
走り平行度 10μm
ピッチング 25″
ヨーイング 20″
センサ品番 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
リミットセンサ 有（NORMAL CLOSE）
原点センサ 有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ 有（NORMAL OPEN）
納期の目安 問
モータ　　タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番 PK525HPB-C4（□28mm）
モータ　　ステップ角 0.72°
センサ　　電源電圧 DC5～24V±10％
センサ　　消費電流 80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通） ： リミットセンサ
遮光時 ： 出力トランジスタON（導通） ： 原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
軸タイプ X軸
スケール付 無

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◦レールの形状は、U字形として軽量化をはかり、たわみを最小に抑えた高剛性仕様となっています。

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