Z軸精密自動ステージ(HST)

HST-Z

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HST-Z

精密ボールネジと精密クロスローラを使用した正確度の高い高精度Z軸ステージです。
3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従来のコントローラと比較して低騒音、低振動な動作が可能です。

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精密自動ステージ
HST-100Z

100mm

98N (10.0kg)

2-6 weeks

￥420,000.00

移動量	100mm
テーブル面サイズ	165×220mm
送りネジ	ボールネジ径φ10mm、リード2mm
移動ガイド	クロスローラ
ステージ材質	鉄
質量	14.9kg
分解能（Full）	4μm/パルス
分解能（Half）	2μm/パルス
MAXスピード	10mm/sec
位置決め精度	7μm
繰返し位置決め精度	2μm
耐荷重	98N（10.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.02″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.015″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.015″/N･cm
ロストモーション	1μm
バックラッシ	1μm
運動の垂直度	15μm
ピッチング	25″
ヨーイング	20″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（ｼｬｰﾌﾟ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 1.4A/相（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	PKP544N18B（□42mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時： :出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：:出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ	SG-5M、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ	HSC-103、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-SH、PGC-04-U
軸タイプ	Z軸
スケール付	無

精密自動ステージ
HST-200Z

200mm

98N (10.0kg)

2-6 weeks

￥520,000.00

移動量	200mm
テーブル面サイズ	165×420mm
送りネジ	ボールネジ径φ10mm、リード2mm
移動ガイド	クロスローラ
ステージ材質	鉄
質量	25.7kg
分解能（Full）	4μm/パルス
分解能（Half）	2μm/パルス
MAXスピード	10mm/sec　（HSC-103使用時は20mm/sec）
位置決め精度	8μm
繰返し位置決め精度	2μm
耐荷重	98N（10.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.03″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.02″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.015″/N･cm
ロストモーション	1μm
バックラッシ	1μm
運動の垂直度	25μm
ピッチング	25″
ヨーイング	25″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（ｼｬｰﾌﾟ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 1.4A/相（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	PKP544N18B（□42mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時： :出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：:出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ	SG-5M、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ	HSC-103、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-SH、PGC-04-U
軸タイプ	Z軸
スケール付	無

精密自動ステージ
HST-50Z

50mm

98N (10.0kg)

2-6 weeks

￥328,000.00

移動量	50mm
テーブル面サイズ	165×165mm
送りネジ	ボールネジ径φ10mm、リード2mm
移動ガイド	クロスローラ
ステージ材質	鉄
質量	13kg
分解能（Full）	4μm/パルス
分解能（Half）	2μm/パルス
MAXスピード	10mm/sec
位置決め精度	5μm
繰返し位置決め精度	2μm
耐荷重	98N（10.0kgf）
モーメント剛性/ピッチング	0.015″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.01″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.005″/N･cm
ロストモーション	1μm
バックラッシ	1μm
運動の垂直度	10μm
ピッチング	25″
ヨーイング	15″
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（ｼｬｰﾌﾟ㈱）
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
納期の目安	問
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 1.4A/相（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	PKP544N18B（□42mm）
モータ　　ステップ角	0.72°
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　出力論理	遮光時： :出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：:出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
適応ドライバ	SG-5M、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラ	HSC-103、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-SH、PGC-04-U
軸タイプ	Z軸
スケール付	無

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◦本体が鉄製であるため、剛性にも優れ高耐荷重を実現します。