Z軸ピエゾアシストステージ(垂直面取付)

TADC-ZPA

Z軸ピエゾアシストステージ(垂直面取付)
在庫あり
SKU
TADC-ZPA
手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができる垂直面取付タイプのZ軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステム に最適です。ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。
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注意 ▶ステージを設置する際には、マイクロあてに衝撃を与えないようにご注意ください。ピエゾアシスト機構が破損する恐れがあります。
▶ピエゾアシスト専用コントローラ(PASC)の電源をOFFにすると、ピエゾアシストの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。

Guide ▶微動機構の調整には、ピエゾアシスト専用コントローラ(PASC)をご使用ください。ピエゾアシストステージには、ピエゾアシストコントローラ専用接続ケーブル(2m)が付属しています。

名前 Stage Size Travel Mounting Thread 出荷 価格 カートに追加
i
Z軸ピエゾアシストステージ(垂直面取付)
TADC-251SZPA
25×25mm ±3mm M2
in stock
¥67,500.00
テーブル面サイズ 25×25mm
粗動移動量 ±3mm
微動移動量 25µm以上
マイクロ操作位置 サイド
移動量/1回転 0.5mm
マイクロメータ最小読取 0.01mm
微動最小分解能 20nm以下
移動ガイド ボールガイド
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
耐荷重 9.8N(1.0kgf)
移動精度/真直度 3μm
直角度
許容モーメント荷重/ピッチング 1.47N・m
許容モーメント荷重/ローリング 1.47N・m
モーメント剛性/ピッチング 6.0″/N・cm
移動平行度 20μm
質量 0.07kg
i
Z軸ピエゾアシストステージ(垂直面取付)
TADC-401SRZPA
40×40mm ±6.5mm M3
2-6 weeks
¥68,000.00
テーブル面サイズ 40×40mm
粗動移動量 ±6.5mm
微動移動量 30µm以上
マイクロ操作位置 サイド
移動量/1回転 0.5mm
マイクロメータ最小読取 0.01mm
微動最小分解能 20nm以下
移動ガイド ボールガイド
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
耐荷重 9.8N(1.0kgf)
移動精度/真直度 3μm
直角度
許容モーメント荷重/ピッチング 2.5N・m
許容モーメント荷重/ローリング 2.5N・m
モーメント剛性/ピッチング 0.66″/N・cm
移動平行度 10μm
質量 0.16kg
i
65X65mm Piezo-Assist Z-Axis Stage, (Vertical Platform/Base) +/-12.5mm, M6 Threads
TADC-651SZ25-M6PA
65×65mm ±12.5mm M6
in stock
¥71,500.00
i
65X65mm Piezo-Assist Z-Axis Stage, (Vertical Platform/Base) +/-12.5mm, 1/4-20 Threads, Right-handed
TADC-651SRZ25UUPA
65×65mm ±12.5mm 1/4-20UNC
in stock
¥71,500.00
i
Z軸ピエゾアシストステージ(垂直面取付)
TADC-251SRZPA
25×25mm ±3mm M2
in stock
¥67,500.00
テーブル面サイズ 25×25mm
粗動移動量 ±3mm
微動移動量 25µm以上
マイクロ操作位置 サイド
移動量/1回転 0.5mm
マイクロメータ最小読取 0.01mm
微動最小分解能 20nm以下
移動ガイド ボールガイド
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
耐荷重 9.8N(1.0kgf)
移動精度/真直度 3μm
直角度
許容モーメント荷重/ピッチング 1.47N・m
許容モーメント荷重/ローリング 1.47N・m
モーメント剛性/ピッチング 6.0″/N・cm
移動平行度 20μm
質量 0.07kg
i
Z軸ピエゾアシストステージ(垂直面取付)
TADC-601SZPA
60×60mm ±6.5mm M4
in stock
¥70,000.00
テーブル面サイズ 60×60mm
粗動移動量 ±6.5mm
微動移動量 30µm以上
マイクロ操作位置 サイド
移動量/1回転 0.5mm
マイクロメータ最小読取 0.01mm
微動最小分解能 20nm以下
移動ガイド ボールガイド
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
耐荷重 9.8N(1.0kgf)
移動精度/真直度 3μm
直角度
許容モーメント荷重/ピッチング 2.5N・m
許容モーメント荷重/ローリング 2.5N・m
モーメント剛性/ピッチング 0.66″/N・cm
移動平行度 10μm
質量 0.25kg
i
65X65mm Piezo-Assist Z-Axis Stage, (Vertical Platform/Base) +/-12.5mm, 1/4-20 Threads
TADC-651SZ25UUPA
65×65mm ±12.5mm 1/4-20UNC
in stock
¥71,500.00
i
Z軸ピエゾアシストステージ(垂直面取付)
TADC-401SZPA
40×40mm ±6.5mm M3
in stock
¥68,000.00
テーブル面サイズ 40×40mm
粗動移動量 ±6.5mm
微動移動量 30µm以上
マイクロ操作位置 サイド
移動量/1回転 0.5mm
マイクロメータ最小読取 0.01mm
微動最小分解能 20nm以下
移動ガイド ボールガイド
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
耐荷重 9.8N(1.0kgf)
移動精度/真直度 3μm
直角度
許容モーメント荷重/ピッチング 2.5N・m
許容モーメント荷重/ローリング 2.5N・m
モーメント剛性/ピッチング 0.66″/N・cm
移動平行度 10μm
質量 0.16kg
i
Z軸ピエゾアシストステージ(垂直面取付)
TADC-601SRZPA
60×60mm ±6.5mm M4
in stock
¥70,000.00
テーブル面サイズ 60×60mm
粗動移動量 ±6.5mm
微動移動量 30µm以上
マイクロ操作位置 サイド
移動量/1回転 0.5mm
マイクロメータ最小読取 0.01mm
微動最小分解能 20nm以下
移動ガイド ボールガイド
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト
耐荷重 9.8N(1.0kgf)
移動精度/真直度 3μm
直角度
許容モーメント荷重/ピッチング 2.5N・m
許容モーメント荷重/ローリング 2.5N・m
モーメント剛性/ピッチング 0.66″/N・cm
移動平行度 10μm
質量 0.25kg
i
65X65mm Piezo-Assist Z-Axis Stage, (Vertical Platform/Base) +/-12.5mm, M6 Threads, Right-handed
TADC-651SRZ25-M6PA
65×65mm ±12.5mm M6
in stock
¥71,500.00

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◦ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。

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