10nmフィードバックステージ
FS-3200PX
名前 | 10nmフィードバックステージ |
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質量 | 5.0000kgs |
Stage Size | 160×230mm |
移動量 | 200mm |
テーブル面サイズ | 160×230mm |
移動ガイド | LMガイド |
送りネジ | ボールねじ径φ10mm、リード2mm |
質量 | 5.0㎏ |
最小分解能※1 | 10nm |
繰返し位置決め精度※1 | ±20nm |
耐荷重 | 196N(20kgf) |
走り平行度 | 10μm(移動量100mmあたりの走り平行度) |
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。 |
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SKU
FS-3200PX