10nmフィードバックステージ
FS-3150PX
名前 | 10nmフィードバックステージ |
---|---|
質量 | 2.8000kgs |
Stage Size | 120×170mm |
移動量 | 150mm |
テーブル面サイズ | 120×170mm |
移動ガイド | LMガイド |
送りネジ | ボールねじ径φ8mm、リード1mm |
質量 | 2.8㎏ |
最小分解能※1 | 10nm |
繰返し位置決め精度※1 | ±20nm |
耐荷重 | 98N(10kgf) |
走り平行度 | 10μm(移動量100mmあたりの走り平行度) |
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。 |
在庫あり
SKU
FS-3150PX