10nmフィードバックステージ
FS-1100PX
名前 | 10nmフィードバックステージ |
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質量 | 2.1000kgs |
Stage Size | 120×120mm |
移動量 | 100mm |
テーブル面サイズ | 120×120mm |
移動ガイド | LMガイド |
送りネジ | ボールねじ径φ6mm、リード1mm |
質量 | 2.1㎏ |
最小分解能※1 | 10nm |
繰返し位置決め精度※1 | ±20nm |
耐荷重 | 98N(10kgf) |
走り平行度 | 10μm |
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。 |
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SKU
FS-1100PX