サブミクロンフィードバックステージシステム
FS-1050X
サブミクロンの分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め（位置再現性）、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、7種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め（位置再現性）、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、7種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。
| 名前 | サブミクロンフィードバックステージシステム |
|---|---|
| 質量 | 1.6000kgs |
| Stage Size | 120×120mm |
| 移動量 | 50mm |
| テーブル面サイズ | 120×120mm |
| 移動ガイド | クロスローラガイド |
| 送りネジ | ボールねじ径φ6mm、リード1mm |
| 駆動モータタイプ | □28mm 5相ステッピングモータ |
| 質量 | 1.6㎏ |
| 最小分解能※1 FC-411使用の場合 | 50nm |
| 最小分解能※1 FC-414使用の場合 | － |
| 繰返し位置決め精度※1 FC-411使用の場合 | ±100nm |
| 繰返し位置決め精度※1 FC-414使用の場合 | － |
| 耐荷重 | 98N(10kgf) |
| 走り平行度 | 10μm |
| ※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。 | |
| 主要材質 | アルミ |
| 表面処理 | 黒アルマイト |
| センサ リミットセンサ | 有 |
| センサ スローダウンセンサ | 無 |
| センサ 原点センサ | 無 |
| センサ 近接原点センサ | 無 |
| 信号周期 | 4μm |
| スケールケーブル※ | 2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 |
| 適応コントローラ |
FC-411: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X FC-414: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X |
| 適応ケーブル |
PM-CA: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X PM4N-CA*SD: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X |
在庫あり
SKU
FS-1050X
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サブミクロンの分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め（位置再現性）、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、7種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め（位置再現性）、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、7種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。
