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名前 |
10nmフィードバックステージ |
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質量 |
1.6000kgs |
| Stage Size |
120×120mm |
| 移動量 |
50mm |
| テーブル面サイズ |
120×120mm |
| 移動ガイド |
クロスローラガイド |
| 送りネジ |
ボールねじ径φ6mm、リード1mm |
| 質量 |
1.6㎏ |
| 最小分解能※1 |
10nm |
| 繰返し位置決め精度※1 |
±20nm |
| 耐荷重 |
98N(10kgf) |
| 走り平行度 |
10μm |
| ※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。 |
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