10nmフィードバックステージ
FS-1020PX
| 名前 | 10nmフィードバックステージ |
|---|---|
| 質量 | 0.5000kgs |
| Stage Size | 60×60mm |
| 移動量 | 20mm |
| テーブル面サイズ | 60×60mm |
| 移動ガイド | クロスローラガイド |
| 送りネジ | ボールねじ径φ4mm、リード1mm |
| 質量 | 0.5㎏ |
| 最小分解能※1 | 10nm |
| 繰返し位置決め精度※1 | ±20nm |
| 耐荷重 | 49N(5kgf) |
| 走り平行度 | 10μm |
| ※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。 |
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