X軸ガラススケール内蔵自動ステージシステム  

KST(GS)

X軸ガラススケール内蔵自動ステージシステム  
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KST(GS)
高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。
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注意 ▶KST(GS)シリーズをクローズドループ制御で駆動する際には、カタログ掲載仕様値内でご使用していただくために、コントローラのモーター分割数設定を100以上(1パルスあたりの移動量0.05μm以下)を推奨いたします。

Guide ◦Linear encoder signal feedback and micro-step drive can minimize lead error, which is inherent to feed screw mechanism.
◦Small glass scale of linear expansion coefficient enabled a highly reliable positioning system stable against fluctuations in ambient environment.
◦Ideal for use in positioning that requires precision in submicron units, and prolonged driving that is affected by reproducibility by temperature drift.


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名前 出荷 価格 カートに追加
i
X軸ガラススケール内蔵自動ステージシステム  
KST(GS)-50X
2-6 weeks
¥500,000.00
移動量 50mm
テーブル面サイズ 165×165mm
送りネジ ボールネジ径φ8mm、リード1mm
移動ガイド クロスローラ
ステージ材質
質量 9.2kg
分解能(Full) 2μm/パルス
分解能(Half) 1μm/パルス
MAXスピード 10mm/sec
位置決め精度 3μm
繰返し位置決め精度 0.5μm
耐荷重 392N(40.0kgf)
モーメント剛性/ピッチング 0.01″/N・cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.01″/N・cm
モーメント剛性/ローリング 0.005″/N・cm
ロストモーション 0.5μm
バックラッシ 1μm
平行度 50μm
運動の平行度 10μm
ピッチング 15″
ヨーイング 15″
センサ品番 フォトマイクロセンサ:PM-L24(SUNX㈱):リミット、原点センサ
リミットセンサ 有(NORMAL CLOSE)
原点センサ
近接原点センサ
納期の目安 1
モータ  タイプ 5相ステッピングモータ 1.4A/相
(オリエンタルモーター㈱)
モータ  品番 KST(GS)-50X:PK564-NBW(□60mm)
KST(GS)-100X:PK566-NBW(□60mm)
KST(GS)-200X:PK569-NBW(□60mm)
モータ  ステップ角 0.72°
適応コントローラ SHOT-302GS、SHOT-304GS
軸タイプ X軸
スケール付
i
X軸ガラススケール内蔵自動ステージシステム  
KST(GS)-200X
2-6 weeks
¥750,000.00
移動量 200mm
テーブル面サイズ 165×360mm
送りネジ ボールネジ径φ14mm、リード2mm
移動ガイド クロスローラ
ステージ材質
質量 19.4kg
分解能(Full) 4μm/パルス
分解能(Half) 2μm/パルス
MAXスピード 20mm/sec
位置決め精度 5μm
繰返し位置決め精度 0.8μm
耐荷重 392N(40.0kgf)
モーメント剛性/ピッチング 0.01″/N・cm
モーメント剛性/ヨーイング 0.01″/N・cm
モーメント剛性/ローリング 0.005″/N・cm
ロストモーション 0.5μm
バックラッシ 1μm
平行度 100μm
運動の平行度 20μm
ピッチング 20″
ヨーイング 20″
センサ品番 フォトマイクロセンサ:PM-L24(SUNX㈱):リミット、原点センサ
リミットセンサ 有(NORMAL CLOSE)
原点センサ
近接原点センサ
納期の目安 1
モータ  タイプ 5相ステッピングモータ 1.4A/相
(オリエンタルモーター㈱)
モータ  品番 KST(GS)-50X:PK564-NBW(□60mm)
KST(GS)-100X:PK566-NBW(□60mm)
KST(GS)-200X:PK569-NBW(□60mm)
モータ  ステップ角 0.72°
適応コントローラ SHOT-302GS、SHOT-304GS
軸タイプ X軸
スケール付

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◦リニアエンコーダ信号のフィードバックとマイクロステップ駆動により、送りネジ機構特有のリード誤差を最小限に抑えることができます。
◦線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
◦サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。<


すでに生産が終了しています。在庫が無くなり次第、販売終了となります。後継機種はHST(GS)-シリーズこちらから

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