高耐久型自動アライメントステージ
HDS-60YAW
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半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
名前 | 高耐久型自動アライメントステージ |
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質量 | 0.5000kgs |
Guide | ▶HDSシリーズの原点センサはストロークの中心(0°)付近にあります。 |
Attention | ▶HDSシリーズは水平面に設置してご使用ください。天地逆転や垂直面に取り付けた場合は、性能を保証できません。もし、特殊な取り付けを希望される場合は、営業までお問合せ下さい。 |
Image Label | Motorized Rotation Stage High Accuracy 60mm Size |
Rotation Range | ±5° |
Load Capacity | 29.4N (3.0kg) |
回転範囲 | ±5° |
テーブル面サイズ | φ60mm |
移動機構 | ボールネジ+スチールベルト |
移動ガイド | ベアリング方式 |
ステージ上面材質 | アルミ |
表面処理 | 黒アルマイト |
質量 | 0.5kg |
分解能 (Full) | 約0.0053°/パルス |
分解能 (Half) | 約0.0027°/パルス |
最小応答分解能(参考) | 0.5mdeg |
MAXスピード | 60°/sec |
位置決め精度 | 0.05° |
繰返し位置決め精度 | 0.003° |
耐荷重 | 29.4N(3.0kgf) |
モーメント剛性 | 1″/N・cm |
ロストモーション | 0.003° |
バックラッシ | 0.05° |
平行度 | 50μm |
同心度 | 10μm(±5°の範囲内) |
面振れ量 | 0.01μm (±5°の範囲内) |
センサ品番 | マイクロフォトセンサ:GP1S097HCZ(シャープ㈱) |
リミットセンサ | 有(NORMAL CLOSE) |
原点センサ | 有(NORMAL OPEN) |
近接原点センサ | 無 |
納期の目安 | 1 |
モータ タイプ |
HDS-60YAW:5相ステッピングモータ 0.75/相 (多摩川精機㈱) HDS-80YAW、HDS-120YAW:5相ステッピングモータ 0.75A/相 (オリエンタルモーター㈱) |
モータ 品番 |
HDS-60YAW:TS3664N4E10(□24mm) HDS-80YAW、HDS-120YAW:PK523HPB-C12(□28mm) |
モータ ステップ角 | 0.72° |
センサ 電源電圧 | DC5~24V±10% |
センサ 消費電流 | 60mA以下(1センサあたり20mA以下) |
センサ 制御出力 | NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下 |
センサ 出力論理 |
遮光時 : 出力トランジスタOFF(非導通):リミットセンサ 遮光時:出力トランジスタON(導通):原点センサ |
適応ドライバ | SG-5M、SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL |
適応コントローラ | GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103 |
軸タイプ | 回転 |
スケール付 | 無 |
在庫あり
SKU
HDS-60YAW
¥140,000.00
半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。